入射电子背散射电子Auger俄歇电子二次电子阴极发光X射线样品透射电子
样 品 入射电子 Auger 俄歇电子 阴极发光 背散射电子 二次电子 X射线 透射电子
第二节扫描电镜的工作原理p弹性散射和非弹性散射当一束聚焦电子束沿一定方向入射到试样内时，由于受到固体物质中晶格位场和原子库仑场的作用，其入射方向会发生改变，这种现象称为散射。弹性散射：如果在散射过程中入射电子只改变方向，但其总动能基本上无变化，则这种散射称为弹性散射。弹性散射的电子符合布拉格定律，携带有晶体结构、对称性、取向和样品厚度等信息，在电子显微镜中用于分析材料的结构。非弹性散射：如果在散射过程中入射电子的方向和动能都发生改变，则这种散射称为非弹性散射。在非弹性散射情况下，入射电子会损失一部分能量，并伴有各种信息的产生。非弹性散射电子：损失了部分能量，方向也有微小变化。用于电子能量损失谱，提供成分和化学信息。也能用于特殊成像或衍射模式
Ø 当一束聚焦电子束沿一定方向入射到试样内时，由于受到 固体物质中晶格位场和原子库仑场的作用，其入射方向会 发生改变，这种现象称为散射。 • 弹性散射：如果在散射过程中入射电子只改变方向，但其总动能基本 上无变化，则这种散射称为弹性散射。弹性散射的电子符合布拉格定 律，携带有晶体结构、对称性、取向和样品厚度等信息，在电子显微 镜中用于分析材料的结构。 • 非弹性散射：如果在散射过程中入射电子的方向和动能都发生改变， 则这种散射称为非弹性散射。在非弹性散射情况下，入射电子会损失 一部分能量，并伴有各种信息的产生。非弹性散射电子：损失了部分 能量，方向也有微小变化。用于电子能量损失谱，提供成分和化学信 息。也能用于特殊成像或衍射模式。 p弹性散射和非弹性散射 第二节 扫描电镜的工作原理
SEM中的三种主要信号背散射电子：入射电子在样品中经散射后再从上表面射出来的电子。反映样品表面不后取向、不同平均原子量的区域差别n二次电子：由样品中原子外壳层释放出来在扫描电子显微术中反映样品上表面的形貌特征。nx射线：入射电子在样品原子激发内层电子后外层电子跃迁至内层时发出的光子
SEM中的三种主要信号 n 背散射电子：入射电子在样品中经散射后再 从上表面射出来的电子。反映样品表面不同 取向、不同平均原子量的区域差别。 n 二次电子：由样品中原子外壳层释放出来， 在扫描电子显微术中反映样品上表面的形貌 特征。 n X射线：入射电子在样品原子激发内层电子后 外层电子跃迁至内层时发出的光子
1、背散射电子，背散射电子是被固体样品中的原子核反弹回来的一部分入射电子，也称为一次电子，包括弹性背散射电子和非弹性背散射电子。弹性背散射电子是指散射角大于90°，被样品中原子核反弹回来的那些入射电子，其能量没有损失（或基本上没有损失）。n背散射电子信号的强度与样品的化学组成有关，即与组成样品的各元素平均原子序数有关。因此背散射电子不仅可用作形貌分析，而且可以用来显示原子序数衬度，用作成分的定性分析
1、背散射电子 n 背散射电子是被固体样品中的原子核反弹回来的一部 分入射电子，也称为一次电子，包括弹性背散射电子 和非弹性背散射电子。弹性背散射电子是指散射角大 于90º，被样品中原子核反弹回来的那些入射电子，其 能量没有损失(或基本上没有损失)。 n 背散射电子信号的强度与样品的化学组成有关，即与 组成样品的各元素平均原子序数有关。因此背散射电 子不仅可用作形貌分析，而且可以用来显示原子序数 衬度，用作成分的定性分析
2、二次电子入射电子与样品相互作用后，使样品原子较外层电子（价带或导带电子）电离产生的电子，称二次电子。二次电子能量比较低，习惯上把能量小于50eV电子统称为二次电子，仅在样品表面5nm一10nm的深度内才能逸出表面，这是二次电子分辨率高的重要原因之一。二次电子主要决定于表面形貌，不能用于成分分析
2、二次电子 入射电子与样品相互作用后，使样品 原子较外层电子（价带或导带电子）电 离产生的电子，称二次电子。二次电子 能量比较低，习惯上把能量小于50eV电 子统称为二次电子，仅在样品表面5nm－ 10nm的深度内才能逸出表面，这是二次 电子分辨率高的重要原因之一。二次电 子主要决定于表面形貌，不能用于成分 分析