扫描电镜典型特点①样品制备简单，能直接观察并分析样品的表面结构特征。①三自由度平移和旋转样品，可多角度对样品进行观察。①扫描电镜景深大，所抓拍图象的立体感强，①图象的放大倍数连续可调，基本包括了放大镜、光学显微镜到透射电镜的范围。①观察样品表面形貌的同时，可作微区成分分析
Ø样品制备简单，能直接观察并分析样品的表面结 构特征。 Ø三自由度平移和旋转样品，可多角度对样品进行 观察。 Ø扫描电镜景深大，所抓拍图象的立体感强。 Ø图象的放大倍数连续可调，基本包括了放大镜、 光学显微镜到透射电镜的范围。 Ø观察样品表面形貌的同时，可作微区成分分析。 扫描电镜典型特点
第二章扫描电子显微镜本童主要内容第一节的发展扫描电镜(SEM)第二节SEM的工作原理第三节SEM形貌和原子序数衬度第四节SEM在材料分析中的应用第五节电子探针显微分析技术及应用
l 第一节扫描电镜（SEM）的发展 l 第二节SEM的工作原理 l 第三节SEM形貌和原子序数衬度 l 第四节SEM在材料分析中的应用 l 第五节电子探针显微分析技术及应用 本章主要内容 第二章 扫描电子显微镜
第一节扫描电镜的发展p三个阶段①第一阶段为理论奠基阶段①第二阶段为试验研究阶段①第三阶段为商品化发展时期
Ø第一阶段为理论奠基阶段； Ø第二阶段为试验研究阶段； Ø第三阶段为商品化发展时期 p三个阶段 ： 第一节 扫描电镜的发展
第一节扫描电镜的发展p第一个阶段：理论奠基阶段1834年，法拉第在“皇家学会会报”上发表文章第一次提到基本电荷“电的原子”概念。同年，汉米尔顿推导出质点运动与几何光学等效原理1923年，法国科学家LouisdeBroglie发现，微观粒子本身除具有粒子特性以外还具有波动性。他指出不仅光具有波粒二象性，一切电磁波和微观运动物质（电子、质子等）也都具有波粒二象性。电磁波在空间的传播是一个电场与磁场交替转换向前传递的过程。电子在高速运动时，其波长远比光波要短得多。1926年，德国物理学家H·Busch提出了关于电子在磁场中的运动理论。他指出：具有轴对称性的磁场对电子束来说起着透镜的作用。从理论上设想了可利用磁场作为电子透镜，达到使电子束会聚或发散的目的
• 1834年，法拉第在“皇家学会会报”上发表文章第一次提到基本电荷“电的 原子”概念。同年，汉米尔顿推导出质点运动与几何光学等效原理。 • 1923年， 法国科学家LouisdeBroglie发现，微观粒子本身除具有粒子特 性以外还具有波动性。他指出不仅光具有波粒二象性，一切电磁波和微观运 动物质(电子、质子等)也都具有波粒二象性。电磁波在空间的传播是一个电 场与磁场交替转换向前传递的过程。电子在高速运动时，其波长远比光波要 短得多。 • 1926年，德国物理学家H·Busch提出了关于电子在磁场中的运动理论。他指 出：具有轴对称性的磁场对电子束来说起着透镜的作用。从理论上设想了可 利用磁场作为电子透镜，达到使电子束会聚或发散的目的。 p第一个阶段 ：理论奠基阶段 第一节 扫描电镜的发展
第一节扫描电镜的发展p第二个阶段 ： 试验研究阶段1931年，德国柏林工科大学高压实验室的M.Knoll和E.Ruska研制成功了第l台实验室电子显微镜，这是后来透射式电子显微镜（transmissionelectrormicroscope，TEM）的维形。其加速电压为7okV，放大率仅12倍。尽管这样的放大率还微不足道，但它有力地证明了使用电子束和电磁透镜可形成与光学影像相似的电子影像。为电子显微镜的制造研究和提高奠定了基础1933Ruska建成第一台电子显微镜，1935年，Kn-ll在设计透射电镜的同时，就提出了扫描电镜的原理及设计思想。，1942年在实验室制成第一台扫描电镜，但囚受各种技术条件的限制，进展一直很慢。1938Rusca研制成功第一台真正实用的电子显微镜。1938Ardenne研制出第一台扫描电子显微镜。1939西门子生产出第一批商品电子显微镜。1942第一台实验室用的扫描电子显微镜问世
• 1931年，德国柏林工科大学高压实验室的M.Knoll和E.Ruska研制成功了第 1台实验室电子显微镜，这是后来透射式电子显微镜（transmissionelectron microscope，TEM）的雏形。其加速电压为70kV，放大率仅12倍。尽管这 样的放大率还微不足道，但它有力地证明了使用电子束和电磁透镜可形成与 光学影像相似的电子影像。为电子显微镜的制造研究和提高奠定了基础。 • 1933 Ruska建成第一台电子显微镜。 • 1935年，Kn-oll在设计透射电镜的同时，就提出了扫描电镜的原理及设计 思想。，1942年在实验室制成第一台扫描电镜，但囚受各种技术条件的限 制，进展一直很慢。 • 1938 Rusca研制成功第一台真正实用的电子显微镜。 • 1938 Ardenne研制出第一台扫描电子显微镜。 • 1939 西门子生产出第一批商品电子显微镜。 • 1942 第一台实验室用的扫描电子显微镜问世。 p第二个阶段 ：试验研究阶段 第一节 扫描电镜的发展