四、真空系统 为了保证从电子枪发射的电子尽可能少地损失能量，使之获 按 得足够的速度和穿透能力，整个镜筒必须保持-一定的真空度。知 果真空度不好，则还会由于高速电子和气体分子相籍产生随机散 射电子，引起炫光，降低象的衬度；或因气体分熏效 中善药 电现象，使电子束不稳定，成象质量变矫。丝也杵因空A 好而被氧化，缩短使用寿命。 对电子显微镜真帘度的要求是：在该真度下电子平均自 程不得小于电子在镜筒中的行程，即不得小1幕据体定 律计算，镜筒真空度至少不得小了108托（毫米魅）保证 高压稳定度种防止试样污染，试样室真空度测还要更高一些，要求 达到10一$托或更高。近代高性能电子枪如IaB:发射源，甚至需 要达到10~托。JEM-2000区的试样室，真空度达到10-7托，换 用LaB电子枪，其附近的真空度要求不小于10-8~10-9托。 日前，电镜所需的真空度，一般采用两级串联系统完成。粗真 空（约10~2托）由旋转机械泵获得；离真空（优于10-ǒ托）由扩散 泉获得。机械泵的安装位置距镜体太近时，将因泵的振动，而使拍 摄高分辨照片发生困強，高倍拍照时尤其如此。这时，可在拍照曝 / 光的瞬间，临时关闭机械泵。有的电镜将扩散泵的排气能力设计 成大机械泵10倍以上，并在二泉之间设计一个容量为10升左 右的排气容器，当机械泵停止工作时，扩散泵仍可以向容器排气。 这样，如镜筒没有泄漏，也不过度放气，则机械泵甚至可以关闭20 分钟之久。这种低真空排气容器，称为贮气罐或“托持箱”。为了 保证安全，它常配有控制贮气罐压力的装置（如自控真空规或警报 器)。这样，旦贮气罐真空度下降太大，有可能通过扩散泵将气 体分子返回镜简以前，即能自动起动机械泵。 1 近代先进电子显微镜，多已采用自动控制系究，控制真空系统 1 的操作，实现了从低真空到高真空的自动转换、真空与高压启闭的 连锁挖制等。操作者只需按一下电细，系统就能连续地自动完成 = 规定的操作序，如遇有反常泄漏，也能自动调整操作，使之恢复 I ·17· 文件使用"pdfFactory Pro"试用版本创建www,fineprint.cn
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电子枪室 …试祥冠 Imm 中2mnm 照相室 第2扩枚泵第2机械系 570升：秒160升/秒 第一其 控系统 第二其 第1散某 ☑空莱资 第1机碳莱 450升/秒 160北/秒 图2-9日-6电悦气空系统示意图 正常。图1-9是H-600电镜真空系统示意图。 §14当前电子显微镜的发展动向 据不完全统计，自1933年第一台电镜问世以来，全世界大约 生产了各种型号的电镜二方台，其中有近半数是日本生产的。目前 全世界生产电镜的主要国家有日本、联邦德国、荷兰和英国。面以 日本产量最大，新技术发腹最快。日本自1955年生产商品电镜， 到1978年，已生产11620台常规电镜，其中6000余台出口许多国 家，留国内约5000台。到1977年底，全世界共生产500kV以上 超高压电镜51台，其中31台是日本生产的；留国内达22台。日 本是全世界拥有电镜最多的园家。 我国的电子显微镜工业，发展较晚，但在短短十多年里，已获 得十分可喜的进展。目前，已有北京、上海、南京三地生产常规电 镜，其中上海生产的DXB212型120kV电镜，已达到国际上同类 418‘* PDF文件使用"pdfFactory Pro”试用版本创建www.fineprint.cn
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