集成电路电容结构 大家知道,一个简单的电容器是由两 个分立的导电层被介质(绝缘)材料 隔离开而形成的。微芯片制造中介质 材料通常是二氧化硅(SO2),平面型 电容器的导电层可由金属薄层、掺杂 的多晶硅,或者衬底的扩散区形成 通常衬底上的电容器由4钟基本工艺组 成(见下图)。 半导体制造技术 电信学院微电子教研室 by Michael Quirk and Julian Serda
半导体制造技术 电信学院微电子教研室 by Michael Quirk and Julian Serda 集成电路电容结构 • 大家知道，一个简单的电容器是由两 个分立的导电层被介质（绝缘）材料 隔离开而形成的。微芯片制造中介质 材料通常是二氧化硅（SiO2）,平面型 电容器的导电层可由金属薄层、掺杂 的多晶硅，或者衬底的扩散区形成。 通常衬底上的电容器由4钟基本工艺组 成（见下图）
集成电路中电容结构示例 Metal contact to lst poly Metal contacts 2nd doped Ist doped poly lay Substrate Substrate Dielectric material (oxide) Doped poly layer 2nd, nt poly plat Metal contact to diffused region Ist, nt poly Substrate Substrate Dielectric material KIne 半导体制造技术 Figure 3.3 电信学院微电子教研室 by Michael Quirk and Julian Serda
半导体制造技术 电信学院微电子教研室 by Michael Quirk and Julian Serda 集成电路中电容结构示例 Substrate Metal contacts Substrate Dielectric material (oxide) 2nd doped poly layer Metal contact to 1st poly 1st doped poly layer Substrate Metal contact to diffused region Doped poly layer Substrate 1st, n+ poly plate 2nd, n+ poly plate Dielectric material (oxide) Figure 3.3
晶体管中寄生电容器示例 E B doped poly p Substrate p" Substrate Bipolar junction transistor Field effect transistor 半导体制造技术 电信学院微电子教研室 by Michael Quirk and Julian Serda Figure 3.4
半导体制造技术 电信学院微电子教研室 by Michael Quirk and Julian Serda 晶体管中寄生电容器示例 n n n S D G p - Substrate oxide doped poly Bipolar junction transistor Field effect transistor n p n E B C p - Substrate Figure 3.4
有源元件结构 pn结二极管 双极晶体管 肖特基二极管 双极集成电路技术 CMOS集成电路技术 增强型和耗尽型 MOSFET 半导体制造技术 电信学院微电子教研室 by Michael Quirk and Julian Serda
半导体制造技术 电信学院微电子教研室 by Michael Quirk and Julian Serda 有源元件结构 • pn 结二极管 • 双极晶体管 • 肖特基二极管 • 双极集成电路技术 • CMOS 集成电路技术 • 增强型和耗尽型 MOSFET
Basic Symbol and Structure of the pn Junction Diode pn Junction diode Heavily doped p region Cathode Anode Heavily doped n region Metal contact 二_(+++++ ++++ p Substrate 半导体制造技术 by Michael Quirk and Julian Serda Figure 3.5 电信学院微电子教研室
半导体制造技术 电信学院微电子教研室 by Michael Quirk and Julian Serda p - Substrate Cathode Anode pn junction diode Metal contact Heavily doped p region Heavily doped n region Basic Symbol and Structure of the pn Junction Diode Figure 3.5