4.1长度量检测技术 长度及线位移是几何量中最基本的测试内 容 在工业在线检测、计量测试、检定标定等 领域中最为经常性的工作 传感器：机械式（杠杆、齿轮）、电感、 电容、光栅、磁栅、容栅、感应同步器、 光电式
在工业在线检测、计量测试、检定标定等 领域中最为经常性的工作 长度及线位移是几何量中最基本的测试内 容 4.1长度量检测技术 传感器：机械式（杠杆、齿轮）、电感、 电容、光栅、磁栅、容栅、感应同步器、 光电式
4.1.1位移检测技术
4.1.1位移检测技术
一、电感位移传感器 原理：利用传感器线圈的电感变化来检测非电量的 用途：主要用于检测位移，也可测量振动、力、应变、 流量和密度等 特点：结构简单，工作可靠，寿命长，性能良好， 适于恶劣环境使用 接触式测量 频响不高，不适于高频测试 冬测量范围仅零点几mm(测微仪) 线性度：0.5%，0.1%，0.05%， 0.02% 冬分辨力：0.1μm~0.01um,1nm 种类：自感式和互感式
一、电感位移传感器 特点： 分辨力：0.1 μm ~ 0.01 μm ，1nm 频响不高，不适于高频测试 线性度：0.5% ，0.1% ，0.05% ，0.02% 结构简单，工作可靠，寿命长，性能良好， 适于恶劣环境使用 接触式测量 自感式和互感式 测量范围仅零点几mm（测微仪） 原理：利用传感器线圈的电感变化来检测非电量的 用途：主要用于检测位移，也可测量振动、力、应变、 流量和密度等 种类：
1、自感式电感传感器 ◆变气隙型自感传感器 构成：线圈、铁芯和衔铁 原理： 线圈 衔铁随被测量上下移 动时，铁芯气隙、磁 路磁阻随之变化，引 铁心 起线圈电感量变化， 然后由测量电路转换 成与位移成比例的电 量输出 衔铁
1、自感式电感传感器 衔铁随被测量上下移 动时，铁芯气隙、磁 路磁阻随之变化，引 起线圈电感量变化， 然后由测量电路转换 成与位移成比例的电 量输出 构成：线圈 、铁芯和衔铁 原理： ◆变气隙型自感传感器
传感器线圈的等效电路 R。 线圈电感L、线圈铜耗电阻Rc、铁心涡耗电阻Re、 磁滞损耗电阻Rh()、线圈分布电容C
传感器线圈的等效电路 线圈电感 L、线圈铜耗电阻Rc、铁心涡耗电阻Re 、 磁滞损耗电阻 R h(f)、线圈分布电容 C