三氯氢硅还原法 由硅石制取 Si0、-5C 160C1900C S1C-200 S10-2S1C=5S1-2C0 粗硅 合成三氯氢 Si+3HC1=SiHC13+H2 (g) 硅 提纯三氯氢 利用三氯氢硅与杂质氯化物的沸点不同而分离提纯 硅 用氢还原三 SiHCI,+H, gc上→Si+3HC1 氯氢硅
三氯氢硅还原法 由硅石制取 粗硅 合成三氯氢 硅 提纯三氯氢 硅 用氢还原三 氯氢硅 Si+3HCl=SiHCl3+H2（g） 利用三氯氢硅与杂质氯化物的沸点不同而分离提纯
三氯氢硅还原法 由硅石制取 Sio,+3C 1600-1800C SiC+2CO 粗硅 Sio,+2SiC3Si+2CO 合成三氯氢 Si+3HC1=SiHC13+H2 (g) 硅 提纯三氯氢 利用三氯氢硅与杂质氯化物的沸点不同而分离提纯 硅 用氢还原三 SiHCI、+H 90C以上 →Si+3HC1 氯氢硅
三氯氢硅还原法 由硅石制取 粗硅 合成三氯氢 硅 提纯三氯氢 硅 用氢还原三 氯氢硅 Si+3HCl=SiHCl3+H2（g） 利用三氯氢硅与杂质氯化物的沸点不同而分离提纯
三氯氢硅还原法 由硅石制取 Si,+3C 1600-1800℃ SiC+2CO 粗硅 Sio,+2SiC3Si+2CO 合成三氯氢 Si+3HC1=SiHC13+H2 (g) 硅 提纯氯氢 利用三氯氢硅与杂质氯化物的沸点不同而分离提纯 硅 用氢还原三 SiHCI、+H 90C以上 →Si+3HC1 氯氢硅
三氯氢硅还原法 由硅石制取 粗硅 合成三氯氢 硅 提纯三氯氢 硅 用氢还原三 氯氢硅 Si+3HCl=SiHCl3+H2（g） 利用三氯氢硅与杂质氯化物的沸点不同而分离提纯
三氯氢硅还原法 Sio,+3C- 1600-1800℃ 由硅石制取 SiC+2CO 粗硅 Sio,+2SiC3Si+2CO 合成三氯氢 Si+3HC1=SiHC13+H2 (g) 硅 提纯三氯氢 利用三氯氢硅与杂质氯化物的沸点不同而分离提纯 硅 用氢还原三 SiHCI,+H, 90C以上 →Si+3HC1 氯氢硅
三氯氢硅还原法 由硅石制取 粗硅 合成三氯氢 硅 提纯三氯氢 硅 用氢还原三 氯氢硅 Si+3HCl=SiHCl3+H2（g） 利用三氯氢硅与杂质氯化物的沸点不同而分离提纯
三氯氢硅还原法 由硅石制取 Sio,+3C 1600-1800℃ SiC+2CO 粗硅 Sio,+2SiC3Si+2CO 合成三氯氢 Si+3HC1=SiHC13+H2 (g) 硅 提纯三氯氢 利用三氯氢硅与杂质氯化物的沸点不同而分离提纯 硅 用氢还原三 沉积开始 硅芯 钟罩 沉积结束 U型硅棒 氯氢硅 卡扣 卡扣 底盘 给料气体 尾气 SiHC13+H2 siHcl /siclslo.sina.comn.cn/porycilicontech DC
三氯氢硅还原法 由硅石制取 粗硅 合成三氯氢 硅 提纯三氯氢 硅 用氢还原三 氯氢硅 Si+3HCl=SiHCl3+H2（g） 利用三氯氢硅与杂质氯化物的沸点不同而分离提纯