1)成像物理信号 入 两边同除以n,得： 二次电子 背散射电子 n+δ+a+T=1 俄歇电子 束 特征x射线 n=ivip, 背散射系数； δ=i,/,二次电子发射 吸收电子 样品 系数； a idip, 吸收系数； 透射电子 T=i/ip, 透射系数
两边同除以ip，得: η+δ+a+T=1 η= ib /ip，背散射系数； δ= is/ip，二次电子发射 系数; a = ia /ip，吸收系数； T = it/ip，透射系数。 1）成像物理信号
二次电子 初次背散射电子 多次非弹性散射 单次非弹性散射 弹性散射 俄歇电子 1 120 ~50eV 电子能量 电子能谱 与电磁辐射（仪 射线)与材料作 电子束与材料作用产生的电子能谱 用产生的光电 子能谱有何区 别？
电子束与材料作用产生的电子能谱 与电磁辐射(X 射线)与材料作 用产生的光电 子能谱有何区 别？
1)成像物理信号 ※特征射线 二次电子 俄歌电子 电子東 背散射电子 ◆ 内层电子激发 特征X射线 ◆ 成分分析 吸收电子 样品 透射电子
※ 特征X射线 ◆ 内层电子激发 ◆ 成分分析 1）成像物理信号
1)成像物理信号一小结 形貌分析 二次电子 背散射电子 结构分析 吸收电子 透射电子 特征射线 成份分析
二次电子 背散射电子 吸收电子 透射电子 特征X射线 1）成像物理信号——小结 形貌分析 成份分析 结构分析
2)SEM的构造 (1) 电子光学系统（镜筒） 1电子枪 高压电源 (2) 扫描系统 (3) 信号收集系统 透镜电源 会豪光 (4)1 图像显示记录系统 播线 (5) 真空系统 扫撼发生器 物 (6) 电源系统 物镜光零 视频放大器 检测器 样品宝 样品 真空系统 扫描电镜工作原理示意图
2）SEM的构造 (1) 电子光学系统（镜筒） (2) 扫描系统 (3) 信号收集系统 (4) 图像显示记录系统 (5) 真空系统 (6) 电源系统 12 3 4