(1)电子光学系统（镜筒） -电子枪一 作用：将来自电子枪的 聚光镜 显像管 电子束聚焦成亮度 高、直径小的入射束 扫描线圈 （直径一般为10nm或 更小)来轰击样品，使 样品产生各种物理信号。 样品 信号放大 信号探 和处理 测器 SEM原理方框图
作用：将来自电子枪的 电子束聚焦成亮度 高、直径小的入射束 （直径一般为10nm或 更小）来轰击样品，使 样品产生各种物理信号。 (1)电子光学系统（镜筒）
(2)扫描系统 电子枪 组成：扫描发生器和扫描 聚光镜 线圈。 显像管 作用： 1)入射电子束在样品表面 扫描线圈 扫描，并使阴极射线显像 物镜 管电子束在荧光屏上作同 步扫描； 样品 信号放大 信号探 2)改变扫描像放大倍数。 和处理 测器 SEM原理方框图
组成：扫描发生器和扫描 线圈。 作用： 1)入射电子束在样品表面 扫描，并使阴极射线显像 管电子束在荧光屏上作同 步扫描； 2)改变扫描像放大倍数。 (2) 扫描系统
(3)信号收集系统 电枪 1)电子信号：电子收 聚光镜 集器（吸收电子用电 显像管 流表)。 2)特征X射线信号：X 扫描线圈 图 射线谱仪检测； 物镜 3)可见光信号（阴极 荧光)：可见光收集 样品 信号放大 信号探 器。 和处理 测器 SEM原理方框图
(3) 信号收集系统 1）电子信号：电子收 集器（吸收电子用电 流表）。 2）特征X射线信号：X 射线谱仪检测； 3）可见光信号（阴极 荧光）：可见光收集 器
(4)图像显示和记录系统 阴极射线显像管 电子枪 聚光镜 显像管 荧光屏 扫描线圈 图 照相方式或数字化形式存储 物镜 样品 信号放大 信号探 和处理 测器 亮度变化的扫描像 SM原理方框图
(4)图像显示和记录系统 阴极射线显像管 荧光屏 亮度变化的扫描像 照相方式或数字化形式存储
(5)真空系统和电源系统 扫描电镜的真空系统和电源系统的作用与 透射电镜的相同
（5）真空系统和电源系统 扫描电镜的真空系统和电源系统的作用与 透射电镜的相同