1)成像物理信号 具有一定能量的电子，当 二次电子 射 背散射电子 其入射固体样品时，将与 俄歇电子 特征X射线 样品内原子核和核外电子 发生弹性和非弹性散射过 吸收电子 程，激发固体样品产生多 样品 种物理信号。 透射电子
1）成像物理信号 具有一定能量的电子，当 其入射固体样品时，将与 样品内原子核和核外电子 发生弹性和非弹性散射过 程，激发固体样品产生多 种物理信号
1)成像物理信号 ※背散射电子： ◆包括弹性背散射电子 和非弹性背散射电子； ◆能量高； ◆来自样品表层几百纳 米的深度； ◆与原子序数有关
※ 背散射电子： ◆ 包括弹性背散射电子 和非弹性背散射电子； ◆ 能量高； ◆ 来自样品表层几百纳 米的深度； ◆ 与原子序数有关。 1）成像物理信号
形貌 1)成像物理信号 分 ※（真）二次电子： ◆样品核外电子； ◆样品表层几个纳米深度； ◆能量小； ◆产额与原子序数无关。 primary electrons hackscattered electrons 8 secondary electrons valence 00000009000 electrons atomic nuclei 各种电 还包括特征二次电子：如，俄 子信号 歇电子。 的图示 atomic cross-section of specimen surface
※（真）二次电子： ◆ 样品核外电子； ◆ 样品表层几个纳米深度； ◆ 能量小； ◆ 产额与原子序数无关。 1）成像物理信号 形貌 分析 各种电 子信号 的图示 还包括特征二次电子：如，俄 歇电子
1)成像物理信号 二次电子 背散射电子 ※吸收电子 原子序数衬度。 俄歇电子 电子東 特征X射线 吸收电子 ※透射电子： 样品 仅取决于样品微区的成分、 透射电子 厚度、晶体结构及位向等
1）成像物理信号 ※ 吸收电子 原子序数衬度 。 ※ 透射电子： 仅取决于样品微区的成分、 厚度、晶体结构及位向等
1)成像物理信号 保持电平衡 二次电子 背散射电子 ip-iprisiaric 俄歇电子 特征X射线 ,是入射电子强度； 吸收电子 样品 ,是背散射电子强度； i,是二次电子强度； 透射电子 i是吸收电子强度； 是透射电子强度
保持电平衡 ip =ib+is+ia+it ip 是入射电子强度； ib 是背散射电子强度； is 是二次电子强度； ia 是吸收电子强度； it 是透射电子强度。 1）成像物理信号