第三章 粒子（束)与材料的相互作用 本章主要内容 3.1电子束与材料的相互作用 3.2离子束与材料的相互作用
本章主要内容 3.1 电子束与材料的相互作用 3.2 离子束与材料的相互作用 第三章 粒子（束）与材料的相互作用
3.1电子束与材料相互作用 1.散射★ 2.激发 3.传播
3.1 电子束与材料相互作用 1.散射 ★ 2.激发 3.传播
r。】 固体原子库仑电场 前散射：散射角<90 背散射：散射角>90 Ze 入射电子散射 28 28 散射角 入射电子方向改变 (a) (b) 图.电子散射示意图 (a)与原子核作用； (b)与核外电子作用
入射电子散射 固体原子库仑电场 入射电子方向改变 图. 电子散射示意图 （a）与原子核作用； （b）与核外电子作用 前散射：散射角<90° 背散射：散射角>90°
电子散射截面 前散射：散射角<90 弹性散 V(20 背散射：散射角>90 射截面 Ze (原子核) Om=πrn e 非弹性散 V(28 28 射截面 散射角 (核外电子) O。=πr。 (e) (b) 原子序数越大，产生弹性散射的比例就越大
电子散射截面 前散射：散射角<90° 背散射：散射角>90° 2 n Ze r V 2 e e r V 2 n n r 弹性散 射截面 2 e e r 非弹性散 射截面 （原子核） （核外电子） n e Z 原子序数越大，产生弹性散射的比例就越大
1.电子散射 电子被吸收和 电磁辐射被吸 收的区别？ 散射基元：原子核 弹性散射 变化：方向改变 作用：电子在固体中扩散 散射基元：核外电子 非弹性散射 变化：方向改变，能量逐渐减小 作用：电子被吸收 一次电子或 固体材料的电子激发 初始电子 二次电子
1.电子散射 非弹性散射 弹性散射 一次电子或 初始电子 散射基元：原子核 变化：方向改变 作用：电子在固体中扩散 散射基元：核外电子 变化：方向改变，能量逐渐减小 作用：电子被吸收 固体材料的电子激发 二次电子 电子被吸收和 电磁辐射被吸 收的区别？