第一章正交试验基本方法 >(2)简单比较法 变化一个因素而固定其它因素,如首先固定B、C于B1 C1,使A变化之,则 BICI A3(好结果) >如果得出结果A3最好,则固定A于A3,C还是C1,使B变 化,则 BI B2(好结果) B3 >得结果B2最好,则固定B于B2,A于A2,使C变化,则: A3B2 C2(好结果) C3 >试验结果以C3最好。于是得出最佳工艺条件为A3B2C2 School of microelectronics and solid-State Electronics
School of Microelectronics and Solid-State Electronics 第一章 正交试验基本方法 ➢（2）简单比较法 ➢变化一个因素而固定其它因素，如首先固定B、C于B1、 C1，使A变化之，则： ➢如果得出结果A3最好，则固定A于A3，C还是C1，使B变 化，则： ➢得结果B2最好，则固定B于B2，A于A2，使C变化，则： ➢试验结果以C3最好。于是得出最佳工艺条件为A3B2C2。 A1 B1C1 A2 A3(好结果) B1 A3C1 B2(好结果) B3 C1 A3B2 C2 (好结果) C3
第一章正交试验基本方法 B3 cmese, uestc C3 简单比较法的试验点 School of microelectronics and solid-State Electronics
School of Microelectronics and Solid-State Electronics 第一章 正交试验基本方法 A1 A2 A3 B3 B2 B1 C1 C2 C3 简单比较法的试验点
第一章正交试验基本方法 简单比较法的优缺点 优点:试验次数少 缺点 (1)试验点不具代表性。考察的因素水平仅局 限于局部区域,不能全面地反映因素的全面情况。 (2)无法分清因素的主次。 (3)如果不进行重复试验,试验误差就估计不 出来,因此无法确定最佳分析条件的精度。 (4)无法利用数理统计方法对试验结果进行分 析,提出展望好条件。 School of microelectronics and solid-State Electronics
School of Microelectronics and Solid-State Electronics 第一章 正交试验基本方法 简单比较法的优缺点 优点：试验次数少 缺点： （1）试验点不具代表性。考察的因素水平仅局 限于局部区域，不能全面地反映因素的全面情况。 （2）无法分清因素的主次。 （3）如果不进行重复试验，试验误差就估计不 出来，因此无法确定最佳分析条件的精度。 （4）无法利用数理统计方法对试验结果进行分 析，提出展望好条件
第一章正交试验基本方法 “单因素轮换法”不一定能找到好的条件 譬如:考察两个因子,先固定A在A1,发现B3 好,再固定B3,发现A1好,但是实际上好的条 件是A 202° B1 B 2 B 1 505662 A2567060 54 60 58 School of microelectronics and solid-State Electronics 14
School of Microelectronics and Solid-State Electronics 14 第一章 正交试验基本方法 “单因素轮换法”不一定能找到好的条件 譬如：考察两个因子，先固定A在A1，发现B3 好，再固定B3，发现A1好，但是实际上好的条 件是A2B2。 B1 B2 B3 A1 50 56 62 A2 56 70 60 A3 54 60 58
第一章正交试验基本方法 >正交试验的提出 >考虑兼顾全面试验法和简单比较法的优点,利用 根据数学原理制作好的规格化表—正交表来设计 试验不失为一种上策。 cmese, uestc >用正交表来安排试验及分析试验结果,这种方法 叫做正交试验法。 >事实上,正交最优化方法的优点不仅表现在试验 的设计上,更表现在对试验结果的处理上。 School of microelectronics and solid-State Electronics
School of Microelectronics and Solid-State Electronics 第一章 正交试验基本方法 ➢正交试验的提出： ➢考虑兼顾全面试验法和简单比较法的优点，利用 根据数学原理制作好的规格化表——正交表来设计 试验不失为一种上策。 ➢用正交表来安排试验及分析试验结果，这种方法 叫做正交试验法。 ➢事实上，正交最优化方法的优点不仅表现在试验 的设计上，更表现在对试验结果的处理上