8.3微反应器 过程设备设计 8.1概述 教学重点： 微反应器的类型、特 点与加工制造 教学难点： 无
8.3 微反应器 过程设备设计 教学重点： 微反应器的类型、特 8.1 概述 3 微反应器的类型、特 点与加工制造 教学难点： 无
83微反应器 过程设备设计 8.3.1概述 时间：20世纪90年代以来 微型化：科学与技术发展重要趋势 研究对象：由宏观对象转向微观世界
8.3 微反应器 8.3.1 概述 时间：20世纪90年代以来 微型化：科学与技术发展重要趋势 过程设备设计 4 微型化：科学与技术发展重要趋势 研究对象：由宏观对象转向微观世界
83微反应器 过程设备设计 8.3.1概述 技术发展的代表：纳米材料以及微/纳电子机械系统 (Micro/Nano Electro Mechanical Systems,简称 MEMS/NEMS) MEMS/NEMS:一般是指以集成电路等工艺批量制作 的集微/纳型机构、传感器、执行器及信号处理和控制 电路等于一体的装置 作用：通过微型化和集成化，来探索新原理、开发新 功能的元件和系统，开辟一个新技术领域，形成一个 新产业
8.3 微反应器 8.3.1 概述 技术发展的代表：纳米材料以及微 ：纳米材料以及微/纳电子机械系统 （ Micro/Nano Electro Mechanical Systems ， 简 称 MEMS/NEMS） 过程设备设计 5 作用：通过微型化和集成化 ：通过微型化和集成化，来探索新原理 ，来探索新原理、开发新 功能的元件和系统，开辟一个新技术领域 ，开辟一个新技术领域，形成一个 新产业 MEMS/NEMS：一般是指以集成电路等工艺批量制作 的集微/纳型机构、传感器、执行器及信号处理和控制 、执行器及信号处理和控制 电路等于一体的装置
8.3微反应器 过程设备设计 8.3.1概述 MEMS/NEMS器件的优点： 尺寸小 精度高 重量轻 性能好 响应快 集控制、感应和执行于一体 6
8.3 微反应器 8.3.1 概述 MEMS/NEMS器件的优点： 尺寸小 重量轻 精度高 性能好 过程设备设计 6 重量轻 响应快 性能好 集控制、感应和执行于一体 、感应和执行于一体
8.3微反应器 过程设备设计 8.3.1概述 MEMS/NEMS器件在化工领域的广泛应用： 微混合器 微化学分析仪器 微反应器 微型换热器 微分离器 微型萃取器 微型泵和微阀等
8.3 微反应器 8.3.1 概述 MEMS/NEMS器件在化工领域的广泛应用： 微混合器 微反应器 微化学分析仪器 微型换热器 过程设备设计 7 微反应器 微分离器 微型换热器 微型萃取器 微型泵和微阀等