二、电子与固体作用产生的信号 >1.电子与固体作用产生的信号 >2.电子非弹性散射平均自由程和信 息深度 >3.电子能谱 11
11 二、电子与固体作用产生的信号 ➢1.电子与固体作用产生的信号 ➢2.电子非弹性散射平均自由程和信 息深度 ➢3.电子能谱
1.电子与固体作用产生的信号 表面元素发射的总强度 背散射电子流 X射线 二次电子流 样品吸收电流 透射电子流 图33入射电子束与固体作用产生的发射现象 3
12 1. 电子与固体作用产生的信号 图3-3 入射电子束与固体作用产生的发射现象 背散射电子流 二次电子流 X射线 表面元素发射的总强度 透射电子流 样品吸收电流