北京科技大学材料科学学院：《薄膜材料与纳米技术 Thin Film Materials & Nanotechnology》第一讲 引言、薄膜技术的真空技术基础 Fundamentals of vacuum technology in thin films techniques

微电子技术中的薄膜材料: MOSFET Interconnect Thick metal Thin gate Polysilicon oxIdes oxIde n+ N+ Heavily doped region P-type Substrate

P-type Substrate 微电子技术中的薄膜材料: MOSFET N + N + Thin gate Polysilicon oxide Thick oxides Interconnect metal Heavily doped region

磁存储技术中的蕙膜材料 磁头与磁记录介质 GM积tode时g Readwrite nuac cnen poltto tHEan magne Mputu neon earbon CutE M Disk austro

磁存储技术中的薄膜材料: 磁头与磁记录介质

微机电系统中的薄膜材料 微型反射镜组

微机电系统中的薄膜材料: 微型反射镜组

Thin films materials may include Metals. Al cu. au Glass: SiOx. SiNx Ceramics: YBCO. PZT Semiconductors: Si, gaAs Polymers PE PMMa

◆ Metals: Al, Cu, Au …… ◆ Glass: SiOx, SiNx …… ◆ Ceramics: YBCO, PZT …… ◆ Semiconductors: Si, GaAs …… ◆ Polymers: PE, PMMA …… Thin films materials may include:

薄膜材料技术的研究内容 薄膜材料的制备技术手段; 薄膜材料的结构理论; 薄膜材料的表征技术; 薄膜材料的体系、性能与应用

薄膜材料技术的研究内容 ◼ ◼ ◼ ◼ 薄膜材料的体系、性能与应用