高压引线 阴极暗区 和屏 基片架 ,t:, 真空室 (阴极) 辉光放电区 蒸发灯丝 绝缘引线士 底座 蒸发电源 浮动输出 离子镀原理图
离子镀原理图
三种PVD方法对比 项目 真空蒸镀阴极溅射、离子镀 粒子能量 0.1-1ev|1-10ev 数百一数千ev 沉积速度 0.1-75 0.01-0.50.1-50 u m/mim 附着性 般 相当好非常好 绕射性 不好 好 好
三种PVD方法对比 项目 真空蒸镀 阴极溅射 离子镀 粒子能量 0.1-1ev 1-10ev 数百-数千ev 沉积速度 μm/mim 0.1-75 0.01-0.5 0.1-50 附着性 一般 相当好 非常好 绕射性 不好 好 好