圆光栅有三种栅线形式:一种是径向光栅,其栅线的延长线通过圆心:另一种是切向光栅其栅线的延长线与光栅盘的一个小同心圆相切:还有一种是其栅线为一簇等间距同心圆组成的环形光栅。圆光栅通常在圆盘上刻有1080~64800条线。圆光栅栅线如图7.2所示
圆光栅有三种栅线形式: 一种是径向光栅,其栅线 的延长线通过圆心;另一种是切向光栅,其栅线的延长线 与光栅盘的一个小同心圆相切;还有一种是其栅线为一 簇等间距同心圆组成的环形光栅。圆光栅通常在圆盘上 刻有1080~64800条线。圆光栅栅线如图7.2所示
(a)径向光栅(b)切向光栅(c)环形光栅图7.2圆光栅栅线
图7.2 圆光栅栅线 (a) 径 向 光 栅 (b) 切 向 光 栅 (c) 环 形 光 栅
7.1.2莫尔条纹原理计量光栅是利用莫尔现象实现几何量的测量的。莫尔条纹的成因是由主光栅和指示光栅的遮光和透光效应形成的(两只光栅参数相同)。主光栅用于满足测量范围及精度,指示光栅(通常是从主尺上裁截一段)用于拾取信号。将主光栅与指示光栅的刻划面相向叠合并且使两者栅线有很小的交角0,这样就可以看到,在a-a线上两只光栅栅线彼此错开光线从缝隙中透过形成亮带.其透光部分是由一系列棱形图案构成的;在b-b线上两只光栅栅线相互交叠相互遮挡缝隙,光线不能透过形成暗带。这种亮带和暗带相间的条纹称为莫尔条纹。由于莫尔条纹的方向与栅线方向近似垂直故该莫尔条纹称为横向莫尔条纹。莫尔条纹原理如图7.3所示
7.1.2 计量光栅是利用莫尔现象实现几何量的测量的。莫尔 条纹的成因是由主光栅和指示光栅的遮光和透光效应形成 的(两只光栅参数相同)。主光栅用于满足测量范围及精 度,指示光栅(通常是从主尺上裁截一段)用于拾取信号。 将主光栅与指示光栅的刻划面相向叠合并且使两者栅线有 很小的交角θ,这样就可以看到, a-a 线上两只光栅栅线 彼此错开,光线从缝隙中透过形成亮带,其透光部分是由一系 b-b 线上两只光栅栅线相互交叠, 相互遮挡缝隙,光线不能透过形成暗带。这种亮带和暗带相 间的条纹称为莫尔条纹。由于莫尔条纹的方向与栅线方向 近似垂直,故该莫尔条纹称为横向莫尔条纹。莫尔条纹原理 如图7.3所示
aabbaaPb6aaM2图7.3莫尔条纹原理
图7.3 莫尔条纹原理 w a b a b a a b a b a B w 2 1
7.1.3莫尔条纹特点1.位移放大作用相邻两条莫尔条纹间距B与栅距w及两光栅夹角0的关系为wwB =2(7.1)002 sin2令k为放大系数,则B1k=二(7.2)20W
7 .1.3 1. 相邻两条莫尔条纹间距B与栅距w及两光栅夹角θ的 关系为 令k为放大系数,则 w w B = 2 2sin (7.1) 1 = w B k (7.2)