北京大学：《集成电路原理与设计 Principle of Integrated Circuits》课程电子教案（数字集成电路原理与设计）chap3-2 CMOS工艺——无源器件

PDF Creator Foxit Software 电容器的版图设计 ware.comForevaluationonly 金1

11 电容器的版图设计 Generated by Foxit PDF Creator © Foxit Software http://www.foxitsoftware.com For evaluation only

nerated by Foxit PDF Creator@ Foxit Softy /. foxitsoftware com For evaluation 电容器的寄生效应 午 Cap metall lo metal.2 Cup Itetll to metar Cap poly to substratc 于 Cup metall to subst p substrate 上电极寄生电容

12 电容器的寄生效应 Generated by Foxit PDF Creator © Foxit Software http://www.foxitsoftware.com For evaluation only

Generated by Foxit PDF Creator Foxit Software ttp//www.foxitsoftware.comForevaluationonly 0.8 um CMOS工艺中电容器的性能参数 元件类型数值范围匹配精度温度系数电压系数 fF/ 106/°C 10-6/V MOS电容222.7 0.05 0 50 Poly/poly 0.8-1.0 0.05 50 电容 Ml-Poly 0.021 1.5 电容 0.025 M2-M1 0.021 1.5 电容 0.025 M3-M2 0.021- 1.5 电容 0.025

13 0.8μm CMOS工艺中电容器的性能参数 元件类型 数值范围 fF/μm2 匹配精度 % 温度系数 10-6/°C 电压系数 10-6 /V MOS电容 2.2-2.7 0.05 50 50 Poly/poly 电容 0.8-1.0 0.05 50 50 M1－Poly 电容 0.021- 0.025 1.5 － － M2－M1 电容 0.021- 0.025 1.5 － － M3－M2 电容 0.021- 0.025 1.5 － － Generated by Foxit PDF Creator © Foxit Software http://www.foxitsoftware.com For evaluation only

Generated by Foxit PDF Creator Foxit Software ttp//www.foxitsoftware.comForevaluationonly 集成电路中的元器件 集成电阻器 集成电容器 集成电路中的互连线

14 集成电路中的元器件  集成电阻器  集成电容器  集成电路中的互连线 Generated by Foxit PDF Creator © Foxit Software http://www.foxitsoftware.com For evaluation only

Generated by Foxit PDF Creator Foxit Software ttp//www.foxitsoftware.comForevaluationonly 连线寄生效应的影响 ●连线存在着寄生电阻、电容和电感 ●按比例缩小后电路连线的电阻增大 ●芯片面积增大使连线长度增加,连线RC延迟 影响加大 ●连线寄生效应对电路可靠性和速度带来影响 15

15 连线寄生效应的影响 连线存在着寄生电阻、电容和电感 按比例缩小后电路连线的电阻增大 芯片面积增大使连线长度增加，连线RC延迟 影响加大 连线寄生效应对电路可靠性和速度带来影响 Generated by Foxit PDF Creator © Foxit Software http://www.foxitsoftware.com For evaluation only