产生的信号检测器入射电子束二次电子闪烁体光电倍增管反射电子俄歇分光器俄歇电子照相胶片特征X一射线X一射线分光光器（WDX，EDX）连续X一射线光学显微镜阴极荧光二次电子E<50eV）放出固体表面L=Z=Lcos8,Z=L(cos*0)反射电次激发(X一射线荧光激发主后方散乱电子样品电流透过电子X一射线分辨率26Rx
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30kl0.14m.34m样品：钩（U).Pa19.i/cm样品：馆（AP=2.71g/cmB:加邀电为30kV时电于更的扩数区安（图中3.6um及0.144m为扩散距离，8.2Hm及2.3mm为电子束作用范国的大小）2）27
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3.景深指透镜对高低不平的试样各部位能同时聚焦成像的一个O能力范围。SEM以景深大而著称。取决于分辨本领和电子束入射角，其景深为：入射电子束入射电子束do0样品平面1F=3样品平面1样品平面2btanbL样品平面2β：入射半角do：电子束直径:8图6-16扫描电子显微镜景深与束发散度的关系
28 3. 景深 o 指透镜对高低不平的试样各部位能同时聚焦成像的一个 能力范围。 o SEM以景深大而著称。取决于分辨本领和电子束入射角， 其景深为： β：入射半角 d0：电子束直径
表10-2扫描电子显微镜景深最深扫描电镜光学显徽镜视场分辨率散大倍数(OM)(SEM)1100mm0.2 mm1~10mm1010 mm0.02 mm0.1~1mm1000.1mm2 μm1 mm0.1 mm1 μ10~100mm1 0000.2 μm约1 μm10 μm20 nm10 0002 mm100 0001 μm29
29 表10-2扫描电子显微镜景深
(b)?图3-2多孔硅的两种图像比较（a）光学显微镜图像（b）扫描电子显微镜图像光学显微镜下图象景深很小，只能看清硅柱在某一高度附近的形貌，成像质量差。电子扫描显微镜下图象景深很大，多孔硅不同高度下都能看到清晰的像，分辨率高，能得到完整的多孔硅形貌像。30
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