二次电子（secondary electron）二次电子来自表面50-500A的区域，能量为0-50eV。它对试样表面状态非常敏感，能有效地显示试样表面的微观形貌。由于它发自试样表面层，入射电子还没有较多次散射因此产生二次电子的面积与入射电子的照射面积没多大区别。所以二次电子的分辨率较高，一般可达到50-100A。扫描电子显微镜的分辨率通常就是二次电子分辨率。二次电子产额随原子序数的变化不明显，它主要决定于表面形貌。16
16 二次电子（secondary electron） o 二次电子来自表面50-500 Å的区域，能量为0-50 eV。 o 它对试样表面状态非常敏感，能有效地显示试样表面的 微观形貌。 o 由于它发自试样表面层，入射电子还没有较多次散射， 因此产生二次电子的面积与入射电子的照射面积没多 大区别。所以二次电子的分辨率较高，一般可达到50- 100 Å。 o 扫描电子显微镜的分辨率通常就是二次电子分辨率。二 次电子产额随原子序数的变化不明显，它主要决定于 表面形貌
构造与主要性能扫描电子显微镜由电子光学系统(镜筒)8偏转系统、信号检测放大系统、图像显示和记录系统、电源系统和真空系统等部分组成主要性能：放大倍数、分辨率和景深17
17 二、构造与主要性能 o 扫描电子显微镜由电子光学系统(镜筒)、 偏转系统、信号检测放大系统、图像显 示和记录系统、电源系统和真空系统等 部分组成 o 主要性能：放大倍数、分辨率和景深
发叉式灯丝灯丝加热器引出电压1.3×10-°托(b)TaBa灯丝V(~5kV)FE一尖端兰第1阳极发射电.V。（1~30kV)流表千加速第2阳极电压TTTTY(b)(a)图2-7场发射电子枪（a）电子枪的结构（b）FE尖端18
18 引出电压 加速 电压
。放大倍当入射电子束作光栅扫描时，若电子束在样品表面扫?描的幅度为As，在荧光屏上阴极射线同步扫描的幅度为Ac，则扫描电子显微镜的放大倍数为：AcM =A由于扫描电子显微镜的荧光屏尺寸是固定不变的，因此，放大倍率的变化是通过改变电子束在试样表面的扫描幅度A来实现的。可从20倍到20万倍连续调节。19
19 1．放大倍数 o 当入射电子束作光栅扫描时，若电子束在样品表面扫 描的幅度为AS，在荧光屏上阴极射线同步扫描的幅度 为AC，则扫描电子显微镜的放大倍数为： o 由于扫描电子显微镜的荧光屏尺寸是固定不变的，因 此，放大倍率的变化是通过改变电子束在试样表面的 扫描幅度AS来实现的。 o 可从20倍到20万倍连续调节
入射电子束104m10cmcloumtE试样倍数的定文图3-3110(cm)10000M10(4m)20
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