单原子分子成像 基本构造 z电压控制 针尖高度 探针与样品 三角撑 ■三维扫描控制器 压电陶瓷 ·样品粗逼近控制 减震系统 ·电子学系统 b) 三种常见的三维扫描控制器
单原子分子成像 基本构造 ◼ 探针与样品 ◼ 三维扫描控制器 压电陶瓷 ◼ 样品粗逼近控制 ◼ 减震系统 ◼ 电子学系统 三种常见的三维扫描控制器
单原子分子成像 Q工作模式 ▣恒高模式 恒流模式 必2 反馈回路
单原子分子成像 工作模式 ◼ 恒高模式 ◼ 恒流模式
单原子分子成像 ©空间分辨 横向分辨~0.1nm,纵向分辨~0.01nm。 Si（111)7×7原子重构像 电解液中硫酸根离子吸附在铜单晶（111) 表面的STM图象
单原子分子成像 空间分辨 横向分辨～0.1nm，纵向分辨～0.01nm。 Si（111）7×7原子重构像 电解液中硫酸根离子吸附在铜单晶（111） 表面的STM图象
06 SEM 5】TEM HM: 伯9 PCM 02 109 05 LATERAL SCALE ( 几种显微技术的空间分辨率比较
几种显微技术的空间分辨率比较
单原子分子成像 扫描探针显微镜(SPM)家族 ©随着STM的发明，发展出一系列的由微悬臂及探针、压 电扫描器和计算机控制与数据采集系统构成的扫描探针 显微镜(Scanning Probe Microscope) ©SPM家族主要有：扫描隧道显微镜(STM)、原子力 显微镜(AFM)、磁力显微镜(MFM)、 静电力显微 镜(EF)、摩擦力显微镜(LFM)、化学力显微镜 (CFM)和扫描近场光学显微镜(SNOM)与扫描近 场微波显微镜(SNMM) ·SPM家族可大致分类为扫描隧道显微镜(STM)、扫 描力显微镜(SFM)和扫描近场光学显微镜(SNOM)
单原子分子成像 ◼ 扫描探针显微镜（SPM）家族 随着STM的发明，发展出一系列的由微悬臂及探针、压 电扫描器和计算机控制与数据采集系统构成的扫描探针 显微镜（Scanning Probe Microscope）。 SPM家族主要有：扫描隧道显微镜（STM）、原子力 显微镜（AFM）、磁力显微镜（MFM）、静电力显微 镜（EFM）、摩擦力显微镜（LFM）、化学力显微镜 （CFM）和扫描近场光学显微镜（SNOM）与扫描近 场微波显微镜（SNMM）。 SPM家族可大致分类为扫描隧道显微镜（STM）、扫 描力显微镜（SFM）和扫描近场光学显微镜（SNOM）