单原子分子成像 o1937年，E.W.Muller发明场电子显微镜 o1951年，E.W.Muer研究成功场离子显微镜 E.W.Muller,W针尖的He离子FIM像
单原子分子成像 1937年，E.W.Muller发明场电子显微镜 1951年，E.W.Muller研究成功场离子显微镜 E.W.Muller，W针尖的He离子FIM像
单原子分子成像 扫描电镜(SEM)与扫描透射电镜 (STEM) Q原理 利用电子束与样品作用产生的次级电子成像 。空间分辨取决于电子束的束斑大小 ·使用了场发射针尖的STEM,空间分辨~ 0.2nm ©具有元素分析功能
单原子分子成像 ◼ 扫描电镜（SEM）与扫描透射电镜（STEM） 原理 利用电子束与样品作用产生的次级电子成像 空间分辨取决于电子束的束斑大小 使用了场发射针尖的STEM，空间分辨～ 0.2nm 具有元素分析功能
heated filament light source (source of electrons) condenser lens ens specimen beam deflector objective lens specimen lens IMAGE ON eyepiece VIEWING lens projector SCREEN lens detector IMAGE VIEWED IMAGE ON DIRECTLY FLUORESCENT SCREEN LIGHT TRANSMISSION SCANNING MICROSCOPE ELECTRON MICROSCOPE ELECTRON MICROSCOPE
David Scharf,.鸡蛋壳扫描电镜像
David Scharf，鸡蛋壳扫描电镜像
单原子分子成像 扫描隧道显微镜(STM) o1981年，G.Binnig与H.Rohrer发明了STM 工作原理 利用了量子力学中的隧道效应 E
单原子分子成像 ◼ 扫描隧道显微镜（STM） 1981年，G.Binnig与H.Rohrer发明了STM 工作原理 利用了量子力学中的隧道效应