MM1949EZIUNIVERSITY种类及结构常用的电阻应变片有两种：金属电阻应变片半导体应变片H
种类及结构 ◼ 常用的电阻应变片有两种： ◼ 金属电阻应变片 ◼ 半导体应变片
9MM1949ZIUNIVE半导体应变片Ap△p1+2μ<<K2Pepe半导体敏感条衬底引线图半导体应变片结构
半导体应变片 半导体敏感条 引线 衬底 图 半导体应变片结构 K 1+ 2
MM1949UNINE分析：当半导体应变片受轴向力作用时半导体应变片的电阻率相对变化量与所受的应变力有关：Ap元·0=元·E·8p式中：元一一半导体材料的压阻系数;C一一半导体材料的所受应变力：E一一半导体材料的弹性模量;平导体材料的应变
分析：当半导体应变片受轴向力作用时 半导体应变片的电阻率相对变化量与所受的应变力 有关： = = E 式中： π——半导体材料的压阻系数; σ——半导体材料的所受应变力; E——半导体材料的弹性模量; ε——半导体材料的应变
MM1949SZIUNINERAR因此:(1+2u+元E)R实验证明，元E比1+2u大上百倍，所以1+2u可以忽略因而半导体应变片的灵敏系数为：ARK=R一=元·E8
因此： (1 2 E) R R = + + 实验证明，πE比1+2μ大上百倍，所以1+2μ可以忽略， 因而半导体应变片的灵敏系数为： E R R K = =
MM1949弹性敏感元件及其基本特性几个概念变形、弹性变形、弹性元件基本特性刚度、灵敏度刚度一弹性元件受外力作用下变形大小的量度。AFC = limAr→0 △x灵敏度单位力作用下弹性元件产生变形的大小。刚度的倒数1dxSCdF
弹性敏感元件及其基本特性 ◼ 几个概念——变形、弹性变形、弹性元件 ◼ 基本特性——刚度、灵敏度 ◼ 刚度——弹性元件受外力作用下变形大小的量度。 ◼ 灵敏度——单位力作用下弹性元件产生变形的大小。刚度的倒数。 x F C x = →0 lim dF dx C S = = 1