3.2压力传感器 4.压电式压力传感器 利用压电效应制造而成。某些晶体介质，当沿着一定方向受到机械力作用 发生变形时，就产生了极化效应，而在其某些表面上会差生电荷，当机械力撤 掉之后，又会重新回到不带电的状态，此现象称压电效应。 常用的压电材料有压电晶体（如石英晶体）和压电陶瓷（钛酸钡）。 产生的电荷量与作用力的关系： Q p= kS 5.差动变压器式压力传感器 由弹性敏感元件和差动变压器构成的压力传感器。 它的弹性敏感元件作为受力机构，把被测压力转换成位移，再用差动变压器 把位移转换为与被测压力成一定关系的电信号。又称电感式压力传感器。 测量范围0~98066.5Pa,精度在0.5%左右。 第3章机电系统中的传感器技术 12
第3章 机电系统中的传感器技术 12 3.2 压力传感器 4.压电式压力传感器 利用压电效应制造而成。某些晶体介质，当沿着一定方向受到机械力作用 发生变形时，就产生了极化效应，而在其某些表面上会差生电荷，当机械力撤 掉之后，又会重新回到不带电的状态，此现象称压电效应。 常用的压电材料有压电晶体（如石英晶体）和压电陶瓷（钛酸钡）。 产生的电荷量与作用力的关系： Q p kS = 5.差动变压器式压力传感器 由弹性敏感元件和差动变压器构成的压力传感器。 它的弹性敏感元件作为受力机构，把被测压力转换成位移，再用差动变压器 把位移转换为与被测压力成一定关系的电信号。又称电感式压力传感器。 测量范围0~98066.5Pa，精度在0.5%左右
3.3位移传感器 3.3.1电感式位移传感器 基于电磁感应原理，将被测非电量转换为电感量变化，有自感式和互感式 之分。 电涡流式位移传感器式典型的自感式位移传感器； 差动变压器式位移传感器式应用较多的互感型位移传感器。 1.电涡流位移传感器 利用电涡流原理设计而成，可以实现静态和动态地、非接触、高线性度、 高分辨率地测量金属表面与传感器探头之间的距离及其变化。 传感器 变换器 电信号 分析记 探头 (电压或电流) 录仪器 图3.5电涡流式传感器测量框图 第3章机电系统中的传感器技术 13
第3章 机电系统中的传感器技术 13 3.3 位移传感器 3.3.1 电感式位移传感器 基于电磁感应原理，将被测非电量转换为电感量变化，有自感式和互感式 之分。 电涡流式位移传感器式典型的自感式位移传感器； 差动变压器式位移传感器式应用较多的互感型位移传感器。 1.电涡流位移传感器 利用电涡流原理设计而成，可以实现静态和动态地、非接触、高线性度、 高分辨率地测量金属表面与传感器探头之间的距离及其变化