扫描电子显微技术与ⅹ 射线显微分析 Scanning electron microscopy and X-ray microanalysis 报告人:肖江群
扫描电子显微技术与X 射线显微分析 （Scanning electron microscopy and X-ray microanalysis) 报告人： 肖江群
扫描电子探针显微技术与X射 线显微分析 ●定义与历史回顾 显微分析的基本原理 ●几个重要的概念 仪器与装置(组图) ●定性X射线显微分析 定量X射线显微分析 ●扫描电镜和X射线显微分析的样品制备 技术应用前景
扫描电子探针显微技术与X射 线显微分析 • 定义与历史回顾 • 显微分析的基本原理 • 几个重要的概念 • 仪器与装置（组图） • 定性X射线显微分析 • 定量X射线显微分析 • 扫描电镜和X射线显微分析的样品制备 • 技术应用前景
探针微区分析的定义 所谓的电子探针分析就是利用电子轰击待研究的 试样来产生X射线,根据X射线中谱线的波长和强 度鉴别存在的元素并算出其浓度。 在做定性分析时用X射线谱仪在有关谱线可能出 现的波长范围内把谱线纪录下来。然后对照波长 表,定量分析时把试样的X射线强度与标样的对 比,并作一些校正就可以算出分析点上的成分含 量
探针微区分析的定义 所谓的电子探针分析就是利用电子轰击待研究的 试样来产生X射线，根据X射线中谱线的波长和强 度鉴别存在的元素并算出其浓度。 在做定性分析时用X射线谱仪在有关谱线可能出 现的波长范围内把谱线纪录下来。然后对照波长 表，定量分析时把试样的X射线强度与标样的对 比，并作一些校正就可以算出分析点上的成分含 量
历史回顾 把特征Ⅹ线用于分析化学的想法可以追溯 到 Moseley(1913~1914)。1920年至1930年 由于Ⅹ线谱学与原子结构有关引起了一些科 学家的注意,他们详细地研究了特征谱 1956年英国剑桥大学 Cavendish实验室的 Cosslett和 Duncumb设计和制造了第一台扫 描电子探针。后来在 Castaing的博士论文中, 他发展了物理理论,使分析人员可以把测 得的X射线强度转化为化学成分
历史回顾 • 把特征X线用于分析化学的想法可以追溯 到Moseley(1913~1914)。1920年至1930年， 由于X线谱学与原子结构有关引起了一些科 学家的注意，他们详细地研究了特征谱。 1956年英国剑桥大学Cavendish实验室的 Cosslett和Duncumb设计和制造了第一台扫 描电子探针。后来在Castaing的博士论文中， 他发展了物理理论，使分析人员可以把测 得的X射线强度转化为化学成分
电子探针显微分析的基本原理 作红X线谱 大家知道X射线谱是由于原子的内层电 子能级之间跃迁产生的。为了使这种跃迁 成为可能,必须逐出一个能层电子已产生 空位。在电子探针分析中,所需要的 内层能级电离是靠有足够动能的电子的轰 击产生的。X线谱的波长是发射元素独有的
电子探针显微分析的基本原理 • 一.特征X线谱： • 大家知道X射线谱是由于原子的内层电 子能级之间跃迁产生的。为了使这种跃迁 成为可能，必须逐出一个能层电子已产生 一个空位。在电子探针分析中，所需要的 内层能级电离是靠有足够动能的电子的轰 击产生的。X线谱的波长是发射元素独有的 特征