第三步骤是最终减薄 ·最终减薄方法有两种即双·效率最高和最简便的方法 喷减薄和离子减薄。 是双喷减薄抛光法;图7 ·用这样的方法制成的薄膜6为台双喷式电解抛光 样品,中心空附近有一个 装置的示意图。 相当大的薄区,可以被电 子束穿透,直径3m圆片 试样架 周边好似一个厚度较大的 刚性支架,因为透射电子 显微镜样品座的直径也是配解减薄液 乜解减薄液 3m,因此,用双喷抛光 装置制备好的样品可以直 试样 接装入电镜,进行分析观 察。常用双喷减薄液见表 图7-6双喷电解减薄方法的示意图 7-1
第三步骤是最终减薄 • 最终减薄方法有两种即双 喷减薄和离子减薄。 • 用这样的方法制成的薄膜 样品，中心空附近有一个 相当大的薄区，可以被电 子束穿透，直径3mm圆片 周边好似一个厚度较大的 刚性支架，因为透射电子 显微镜样品座的直径也是 3mm，因此，用双喷抛光 装置制备好的样品可以直 接装入电镜，进行分析观 察。常用双喷减薄液见表 7-1。 • 效率最高和最简便的方法 是双喷减薄抛光法；图7- 6为一台双喷式电解抛光 装置的示意图
高子减 ·离子减薄是物理方法减薄,它·离子减薄的效率较低, 采用离子束将试样表层材料层般情况下4μm/小时左右。 层剥去,最终使试样减薄到电但是离子减薄的质量高薄 子束可以通过的厚度 区大 图7-7是离子减薄装置示意图。 试样放置于高真空样品室中, 激光探测器 离子束(通常是高纯氩)从两 侧在3-5KV加速电压加速下轰 击试样表面,样品表面相对离 试样 子束成0-30°角的夹角。 氩离子束 离子减薄方法可以适用于矿物、 Mo网 陶瓷、半导体及多相合金等电 解抛光所不能减薄的场合。 激光 图7-7用离子减薄方法制备试样的步骤
离子减薄 • 离子减薄是物理方法减薄，它 采用离子束将试样表层材料层 层剥去，最终使试样减薄到电 子束可以通过的厚度。 • 图7-7是离子减薄装置示意图。 试样放置于高真空样品室中， 离子束（通常是高纯氩）从两 侧在3-5KV加速电压加速下轰 击试样表面，样品表面相对离 子束成0-30º角的夹角。 • 离子减薄方法可以适用于矿物、 陶瓷、半导体及多相合金等电 解抛光所不能减薄的场合。 • 离子减薄的效率较低，一 般情况下4μm/小时左右。 但是离子减薄的质量高薄 区大
双喷减薄和离子减薄的比 适用的样品 效率薄区 大小 操作 难度 仪器 价格 ·双喷减薄金属与部分合金高小容易便宜 ·离子减薄矿物、陶瓷、 半导体及多相合金低大复杂昂贵
双喷减薄和离子减薄的比较 适用的样品 效率 薄区 大小 操作 难度 仪器 价格 • 双喷减薄 金属与部分合金 高 小 容易 便宜 • 离子减薄 矿物、陶瓷、 • 半导体及多相合金 低 大 复杂 昂贵