第八章名猫电子星微镜与电子
第八章 扫描电子显微镜与电子 探针显微分析
序 扫描电子显微镜( Scanning Electron Microscope,简称SEM)是继透射电镜(TEM) 之后发展起来的一种电子显微镜 扫描电子显微镜的成像原理和光学显微镜或 透射电子显微镜不同,它是以电子束作为照 明源,把聚焦得很细的电子束以光栅状扫描 方式照射到试样上,产生各种与试样性质有 关的信息,然后加以收集和处理从而获得微 观形貌放大像
序 • 扫描电子显微镜（Scanning Electron Microscope，简称SEM）是继透射电镜（TEM） 之后发展起来的一种电子显微镜 • 扫描电子显微镜的成像原理和光学显微镜或 透射电子显微镜不同，它是以电子束作为照 明源，把聚焦得很细的电子束以光栅状扫描 方式照射到试样上，产生各种与试样性质有 关的信息，然后加以收集和处理从而获得微 观形貌放大像
序 在最近20多年的时间内,扫描电子显微镜 发展迅速,又综合了X射线分光谱仪、电子 探针以及其它许多技术而发展成为分析型 的扫描电子显微镜,仪器结构不断改进, 分析精度不断提高,应用功能不断扩大 越来越成为众多研究领域不可缺少的工具, 目前已广泛应用于冶金矿产、生物医学、 材料科学、物理和化学等领域
序 • 在最近20多年的时间内，扫描电子显微镜 发展迅速，又综合了X射线分光谱仪、电子 探针以及其它许多技术而发展成为分析型 的扫描电子显微镜，仪器结构不断改进， 分析精度不断提高，应用功能不断扩大， 越来越成为众多研究领域不可缺少的工具， 目前已广泛应用于冶金矿产、生物医学、 材料科学、物理和化学等领域
SEM 实魂从SEM副EDX分新一化 岛津扫电子显微镜 Scanning Electron Microscope SSX-550
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