第4章电容式传感器 2021/2/6
2021/2/6 1 第4章 电容式传感器
引言 ■电容式传感器是将被测非电量的变化转 化为电容变化量的一种传感器。 ■结构简单、分辨力高、可非接触测量 并能在高温、辐射和强烈震动等恶劣条 件下工作 n很有发展前途的传感器。 2021/2/6
2021/2/6 2 引言 ◼ 电容式传感器是将被测非电量的变化转 化为电容变化量的一种传感器。 ◼ 结构简单、分辨力高、可非接触测量， 并能在高温、辐射和强烈震动等恶劣条 件下工作 。 ◼ 很有发展前途的传感器
41电容式传感器工作原理 n由绝缘介质分开的两个平行金属板组成的平板 电容器,如果不考虑边缘效应,其电容量为 8 保持其中两个参数不变,仅改变其中一个参数, 就可把该参数的变化转换为电容量的变化,通 过测量电路就可转换为电量输出 电容式传感器工作方式可分为变极距式、变面 积式和变介质式3种类型。 2021/2/6
2021/2/6 3 4.1电容式传感器工作原理 ◼ 由绝缘介质分开的两个平行金属板组成的平板 电容器，如果不考虑边缘效应，其电容量为 ◼ 保持其中两个参数不变，仅改变其中一个参数， 就可把该参数的变化转换为电容量的变化，通 过测量电路就可转换为电量输出。 ◼ 电容式传感器工作方式可分为变极距式、变面 积式和变介质式3种类型。 d S d S C r 0 = =
41变面积式电容传感器 面积变化式电容传感器在工作时的极距、 介质等保持不变,被测量的变化使其有 效作用面积发生改变。 变面积式电容传感器的两个极板中, 个是固定不动的,称为定极板,另一个 是可移动的,称为动极板。 2021/2/6
2021/2/6 4 4.1 变面积式电容传感器 ◼ 面积变化式电容传感器在工作时的极距、 介质等保持不变，被测量的变化使其有 效作用面积发生改变。 ◼ 变面积式电容传感器的两个极板中，一 个是固定不动的，称为定极板，另一个 是可移动的，称为动极板
面积变化型电容传感器原理 1.直线位移型 定极板 电极引线 △X 动极板 2021/2/6 5
2021/2/6 5 面积变化型电容传感器原理 1. 直线位移型