面积变化型电容传感器原理 2.角位移型 定极板 动极板 动极板 定极板 (a)结构图 (b)俯视图 图4-3角位移型 2021/2/6
2021/2/6 6 面积变化型电容传感器原理 2. 角位移型
面积变化型电容传感器原理 3.圆筒型 D D2 定极板 △X 动极板 2021/2/6
2021/2/6 7 面积变化型电容传感器原理 3. 圆筒型
412变极距式电容传感器 当改变电容器两极板间的距离时,电 容器的电容也会发生变化。 定极板当动极板从初始位移动Δd后,即d=do-△d,其电容量为 1+ e===4d0 dn-△d 凸a 「当△d<<d时 动极板 则 (1+ 2021/2/6
2021/2/6 8 4.1.2 变极距式电容传感器 当改变电容器两极板间的距离时，电 容器的电容也会发生变化
(a)为平板形位移电容传感器。 设两个相同极板的长为b,宽为a,极板 间距离为d,当动极板移动x后,电容Cx 也随之改变。 fla-Axb sab EAxb △C 电容的相对变化量和灵敏度为 △C△ △CEb K 2021/2/6
2021/2/6 9 （a）为平板形位移电容传感器。 ◼ 设两个相同极板的长为b，宽为a，极板 间距离为d，当动极板移动x后，电容Cx 也随之改变。 ◼ 电容的相对变化量和灵敏度为 ◼ ◼ 0 ( ) x a x b ab xb C C C d d d = = = - - - 0 C x C a = C b K x d = = −
差动结构形式 ■提高测量精度,减少动极板与定极板之 间的相对极距可能变化而引起的测量误 差 定极板 ) 动极板 C2 定极板 2021/2/6 10
2021/2/6 10 差动结构形式 ◼ 提高测量精度 ，减少动极板与定极板之 间的相对极距可能变化而引起的测量误 差