53光栅位置检测装置 光栅用于数控机床作为检测装置,已有几十年的历 史,用以测量长度、角度、速度、加速度、振动和爬行 等。它是数控机床闭环系统用得较多的一种检测装置。 531光栅检测的工作原理 P栅距 尤栅移动方向 MWMHulMNMINA 图5-8光栅条纹 标尺光栅2—指示光栅 图59莫尔条纹示意图 光电接收器 光源
5.3 光栅位置检测装置 光栅用于数控机床作为检测装置，已有几十年的历 史，用以测量长度、角度、速度、加速度、振动和爬行 等。它是数控机床闭环系统用得较多的一种检测装置。 5.3.1 光栅检测的工作原理
光电池组 标尺光栅 正向脉 差动 放大器 整形器 冲可 方向判别 电路 差动 逆计数器 聚光/ 放大器丁整形器 向 脉冲 光源 控制 回路 指示光栅 图5-10光栅测量系统简图
标尺光栅和指示光栅分别安装在机床的移动部件及固 定部件上,两者相互平行,它们之间保持0.05mm或 01mm的间隙。 根据制造方法和光学原理不同,光栅可分: 透射光栅 反射光栅 透射光栅:采用经磨制的光学玻璃或在玻璃表面感光材 料的涂层上刻成光栅线纹。 特点:光源可以采用垂直入射光,光电元件直接接受光 照。因此信号幅值比较大,信噪比好。光电转换器结构简 单,如线性密度200线/mm。缺点:玻璃易破裂,热胀 系数与金属部件不一致,影响测量精度
标尺光栅和指示光栅分别安装在机床的移动部件及固 定部件上，两者相互平行，它们之间保持0.05mm或 0.1mm的间隙。 根据制造方法和光学原理不同，光栅可分: 透射光栅 反射光栅 透射光栅：采用经磨制的光学玻璃或在玻璃表面感光材 料的涂层上刻成光栅线纹。 特点：光源可以采用垂直入射光，光电元件直接接受光 照。因此信号幅值比较大，信噪比好。光电转换器结构简 单， 如 线性密度200线/mm。 缺点：玻璃易破裂，热胀 系数与金属部件不一致，影响测量精度