优点： ☑ 设备比较简单； 使用方便； 0 造价低。 缺点（尤其是加热温度较高时）： ☑对于多组元材料，由于各组元的蒸气压不同，会造成 薄膜成分与原材料不同； ☑加热过程中，电热元件的原子会挥发出来，造成污染； ☑ 被加热材料可能与电热元件发生反应
优点： Ø 设备比较简单； Ø 使用方便； Ø 造价低。 缺点(尤其是加热温度较高时)： Ø 对于多组元材料，由于各组元的蒸气压不同，会造成 薄膜成分与原材料不同； Ø 加热过程中，电热元件的原子会挥发出来，造成污染； Ø 被加热材料可能与电热元件发生反应
p电子束加热 利用电子枪经过高压加速产生的高能电子聚焦在被 蒸发材料上，将电子的动能转变为热能，可以得到很高 温度。 p特点： 可获得很高的能量密度，易于控制，可蒸镀高熔，点材 料，以大功率密度进行快速蒸镀，可避免薄膜成分与 原材料不同。 ☑ 如被蒸发材料放在水冷台上，使其仅局部熔融，就可 避免污染
p 电子束加热 利用电子枪经过高压加速产生的高能电子聚焦在被 蒸发材料上，将电子的动能转变为热能，可以得到很高 温度。 p 特点： Ø 可获得很高的能量密度，易于控制，可蒸镀高熔点材 料，以大功率密度进行快速蒸镀，可避免薄膜成分与 原材料不同。 Ø 如被蒸发材料放在水冷台上，使其仅局部熔融，就可 避免污染
p存在问题： 高能电子轰击时，会发射二次电子和散射的一次电 子，这些电子轰击到沉积的薄膜上，会对薄膜结构产生 影响，特别是制备要求结构较完整的薄膜时更应注意
p 存在问题： 高能电子轰击时，会发射二次电子和散射的一次电 子，这些电子轰击到沉积的薄膜上，会对薄膜结构产生 影响，特别是制备要求结构较完整的薄膜时更应注意
激光束加热 p 将大功率激光束经过窗口引入真空室内，通过透镜 或凹面镜聚焦在靶材上，将其加热蒸发。 p优点： 、 可得到很高能量密度，能蒸镀吸收激光的高熔点物质； 0 镀膜室的环境气氛易于控制，特别适于在超高真空下 制备纯净薄膜。 p 缺点： 0 费用较高； ☑要求被蒸发材料对激光透射、反射和散射都较小； 0 并非所有材料用激光蒸镀都能得到好的结果
p 激光束加热 将大功率激光束经过窗口引入真空室内，通过透镜 或凹面镜聚焦在靶材上，将其加热蒸发。 p 优点： Ø 可得到很高能量密度，能蒸镀吸收激光的高熔点物质； Ø 镀膜室的环境气氛易于控制，特别适于在超高真空下 制备纯净薄膜。 p 缺点： Ø 费用较高； Ø 要求被蒸发材料对激光透射、反射和散射都较小； Ø 并非所有材料用激光蒸镀都能得到好的结果
激光源可为连续振荡激光（如CO2激光器）或脉冲振荡 激光（如用红宝石激光器等）。 P脉冲激光优点： 可得到很大的蒸发速度，制得的薄膜与基片附着力 高，可防止合金分馏。 p缺点： 但由于沉积速率很快，沉积过程较难控制
激光源可为连续振荡激光(如CO2激光器)或脉冲振荡 激光(如用红宝石激光器等)。 p 脉冲激光优点： 可得到很大的蒸发速度，制得的薄膜与基片附着力 高，可防止合金分馏。 p 缺点： 但由于沉积速率很快，沉积过程较难控制