第10章功能薄膜材料
第10章 功能薄膜材料
主要教学内容 ·10.1成膜技术 ·10.2导电薄膜 。10.3光学薄膜 ·10.4磁性薄膜
主要教学内容 • 10.1 成膜技术 • 10.2 导电薄膜 • 10.3 光学薄膜 • 10.4 磁性薄膜
p功能薄膜 定义：指具有电学、磁学、光学、吸附等物理性能和催 化、反应等化学性能的薄膜材料。 按性能可分为导电功能膜、磁性功能膜、光学功能 膜、分离膜、催化膜和气敏膜等
p 功能薄膜 定义：指具有电学、磁学、光学、吸附等物理性能和催 化、反应等化学性能的薄膜材料。 按性能可分为导电功能膜、磁性功能膜、光学功能 膜、分离膜、催化膜和气敏膜等
p真空基本知识 (1)真空和它的单位 真空是指气体被移去的空间，该空间的压强低于一 个标准大气压，处于气体比较稀薄的状态。 描述真空的物理量主要有真空度、压强、气体分子 密度、气体分子的平均自由程等。 1 Torr 1 mmHg 133.322 Pa; 1atm=760mmHg=1.013×105Pa; 1 bar =105 Pa
p 真空基本知识 (1) 真空和它的单位 真空是指气体被移去的空间，该空间的压强低于一 个标准大气压，处于气体比较稀薄的状态。 描述真空的物理量主要有真空度、压强、气体分子 密度、气体分子的平均自由程等。 1 Torr ＝ 1 mmHg ＝ 133.322 Pa； 1 atm ＝ 760 mmHg＝ 1.013×105 Pa； 1 bar ＝ 105 Pa
(2)真空区域的划分 为了研究真空和实际应用的方便，常将真空划分为 粗真空、低真空、高真空、超高真空、极高真空等几个 等级。 表10.1真空范围 真空度等级 压强范围/Pa 粗真空 1.013×105≈1.33×103 低真空 1.33×103≈1.33×10- 高真空 1.33×10-1~1.33×10-6 超高真空 1.33×10-6~1.33×10-12 极高真空 <1.33×10-12
(2) 真空区域的划分 为了研究真空和实际应用的方便，常将真空划分为 粗真空、低真空、高真空、超高真空、极高真空等几个 等级