1.1单层增透膜 对于激光工作物质材料表面则n12=n02 不再是单层膜的零反射率和最小反射率的条 件了。 基片折射率不是:N=n-认 而是:M=n+ia
1.1 单层增透膜 对于激光工作物质材料表面则n1 2=n0n2 不再是单层膜的零反射率和最小反射率的条 件了。 N n i N n ik s = s + = − 而是： 基片折射率不是：
簿膜光学典型膜系」 1.1单层增透膜 单层增透膜的出现,在历史上是一个重大的进展,直至 今天仍广泛地用来满足一些简单的用途。但是它存在着两个 主要的缺陷,首光对大多数应用来说剩余反射还显得太高 此外,从未镀膜表面反射的光线,在色彩上仍保持中性而从 镀膜表面反射的光线就不然,破坏了色的平衔.其结果是不 可能作出良好的色彩还原,作为变焦距镜头超广角镜头,大 相对孔径等新型透镜系统中的镀层,那更是不能符合要求。 有两个途径可以提高增透效果 采用变折射率的所谓非均匀膜,它的折射率随着厚度的增 加呈连续的变化; 采用几层折射率不同的均匀薄膜构成多层增透膜; 中国科学院长春光学精密机橄与物理研究所♂
薄 膜 光 学——典型膜系 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 1.1 单层增透膜 单层增透膜的出现，在历史上是一个重大的进展，直至 今天仍广泛地用来满足一些简单的用途。但是它存在着两个 主要的缺陷，首光对大多数应用来说剩余反射还显得太高， 此外，从未镀膜表面反射的光线，在色彩上仍保持中性而从 镀膜表面反射的光线就不然，破坏了色的平衔．其结果是不 可能作出良好的色彩还原，作为变焦距镜头超广角镜头，大 相对孔径等新型透镜系统中的镀层，那更是不能符合要求。 有两个途径可以提高增透效果： ➢采用变折射率的所谓非均匀膜，它的折射率随着厚度的增 加呈连续的变化； ➢采用几层折射率不同的均匀薄膜构成多层增透膜；
簿膜光学典型膜系」 1.2双层增透膜 对于单层氟化镁膜来说冕牌玻璃的折射率是太低了。 为此,我们可以在玻璃基片上先镀一层1/4波长厚的、折 射率为n2的薄膜,这时对于来说薄膜和基片组合的系统 可以用一折射率为Y=N23/n3的假想基片来等价。显然, 当n2>n时,有Y>n3也就是说,在玻璃基片上先镀 层高折射率的/4波长厚的膜层后,基片的折射率好象 从n3提高到Y=N23/n3,然后镀上~0/4波长厚的氟化镁膜 层就能起到更好的增透效果。构成λ/4-λ/4型增透膜, 若使中心波长的反射率为零,应满足: 0 0 中国科学院长春光学精密机橄与物理研究所♂
薄 膜 光 学——典型膜系 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 1.2 双层增透膜 对于单层氟化镁膜来说冕牌玻璃的折射率是太低了。 为此，我们可以在玻璃基片上先镀一层1/4波长厚的、折 射率为n2的薄膜，这时对于来说薄膜和基片组合的系统 可以用一折射率为Y=N2 3 /n3的假想基片来等价。显然， 当n2>n3时，有Y＞n3．也就是说，在玻璃基片上先镀一 层高折射率的λ0／4波长厚的膜层后，基片的折射率好象 从n3提高到Y=N2 3 /n3 ，然后镀上λ0／4波长厚的氟化镁膜 层就能起到更好的增透效果。 构成λ0／4- λ0／4型增透膜， 若使中心波长的反射率为零，应满足： 0 3 2 1 0 n n n n Y n = =
簿膜光学典型膜系」 1.2双层增透膜 当折射率完全满足以上关系的材料不能找到时,可以通 过厚度的调整来达到,如图所示,n0、n分别为入射介 质和基片的折射率,n1和n2为折射率己确定的低折射率 和高折射率材料的膜层,δ1、δ2便是待定的膜层位相厚 度,用矢量法进行分析 10-n(通常;<0 2(n2<0) 2 n,+n 3 3 73 (3>0) n +n 中国科学院长春光学精密机橄与物理硏究所
薄 膜 光 学——典型膜系 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 1.2 双层增透膜 当折射率完全满足以上关系的材料不能找到时，可以通 过厚度的调整来达到，如图所示，n0、n3分别为入射介 质和基片的折射率，n1和n2为折射率己确定的低折射率 和高折射率材料的膜层，δ1、δ2便是待定的膜层位相厚 度，用矢量法进行分析: ( 0) ( 0) ( 0) 3 2 3 2 3 3 2 1 2 1 2 2 1 0 1 0 1 1 + − = + − = + − = r n n n n r r n n n n r r n n n n r 通 常
簿膜光学典型膜系」 1.2双层增透膜 用矢量法求出双层增透膜的各层厚度 只有当矢量r1、r2和r3组成封闭三角形才能使合矢量为零。因此只 须以矢量r的始点和终点为圆心,分别以r3和r2为半径作两个园, 两个园的交点就是满足合矢量为零条件的矢量r2和r3头尾相接的 点,然后从矢量图上即可量得261、262的值。显然,图示的两种 方式,都能使三角形封闭。解(b)的膜层总厚度比解2)的小,它对 波长的敏感性也较小,所以通常取此解。 中国科学院长春光学精密机橄与物理研究所♂
薄 膜 光 学——典型膜系 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 1.2 双层增透膜 只有当矢量r1、r2和r3组成封闭三角形才能使合矢量为零。因此只 须以矢量r1的始点和终点为圆心，分别以r3和r2为半径作两个园， 两个园的交点就是满足合矢量为零条件的矢量r2和r3头尾相接的 点，然后从矢量图上即可量得2δ1、2δ2的值。显然，图示的两种 方式，都能使三角形封闭。解(b)的膜层总厚度比解(a)的小，它对 波长的敏感性也较小，所以通常取此解。 用矢量法求出双层增透膜的各层厚度