薄膜光壘—基础理论 矢量法 为了避免在作矢量图时方向混乱,我们可以规定: 1.矢量的模r1,r2,r3,r4.,正值为指向坐标原点负 值为离开原点 2.矢量之间的夹角仅决定于膜层的光学厚度和 的波长(即决定于膜层的位相厚度)按逆时针方向旋转。 面上的位相跃变已经包含在振幅反射系数的符号中,不 另作考虑。 画料学院着光学机兼与物研死群
薄 膜 光 学——基础理论 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 矢量法 为了避免在作矢量图时方向混乱，我们可以规定： 1． 矢量的模r1, r2, r3, r4…，正值为指向坐标原点负 值为离开原点． 2． 矢量之间的夹角仅决定于膜层的光学厚度和所考察 的波长(即决定于膜层的位相厚度)按逆时针方向旋转。界 面上的位相跃变已经包含在振幅反射系数的符号中，不必 另作考虑
簿膜光学典型膜系」 1.1单层增透膜 单层增透膜是减少界面反射的最 Tae-aidn 简单途径,如右图用矢量法分析: 71 0 5 n tn n,+n 从矢量图上可以看到,合振幅矢量r随着r1和2之间的 夹角2δ而变化合矢量端点的轨迹为一园周。当膜层 的光学厚度为某一波长的四分之一时,则两个矢量的 方向完全相反。 中国科学院长春光学精密机橄与物理研究所♂
薄 膜 光 学——典型膜系 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 1.1 单层增透膜 单层增透膜是减少界面反射的最 简单途径，如右图用矢量法分析： 1 2 1 2 2 0 1 0 1 1 , n n n n r n n n n r + − = + − = 从矢量图上可以看到，合振幅矢量r随着r1和2之间的 夹角2δ而变化合矢量端点的轨迹为一园周。 当膜层 的光学厚度为某一波长的四分之一时，则两个矢量的 方向完全相反
簿膜光学典型膜系」 1.1单层增透膜 矢量法用来分析单层薄膜情况: 281 可见当厚度为某一波长1/4,并且r1=r2时剩余反射为零 =2即" 70+n1n1+n2 中国科学院长春光学精密机橄与物理研究所♂
薄 膜 光 学——典型膜系 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 1.1 单层增透膜 1 0 2 1 2 1 2 0 1 0 1 1 2 n n n n n n n n n n n r r = + − = + − = 即 则 矢量法用来分析单层薄膜情况： 可见当厚度为某一波长1/4，并且r1=r2时剩余反射为零：
簿膜光学典型膜系」 1.1单层增透膜 运用矩阵法分析1/4波长厚度时的情况 cos d sin d B Z77 SIn CoS 其中:1 2ma1=2 B R +y 2+ 中国科学院长春光学精密机橄与物理研究所♂
薄 膜 光 学——典型膜系 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 1.1 单层增透膜 2 2 2 1 0 2 2 1 0 2 0 0 2 2 1 1 1 1 2 1 1 1 1 1 1 2 2 1 sin cos sin cos + − = + − = = = = = = n n n n n n n Y n Y R n n B C Y n d i i B C 其中： 运用矩阵法分析1/4波长厚度时的情况：
簿膜光学典型膜系」 1.1单层增透膜 MgF2镀在不同折射率基底上的剩余反射情况 5 基片反射 4 3 1.52 n=1.65 n=1.8 400 450 500 550 600 700 Wavelength(nm) 中国科学院长春光学精密机橄与物理研究所
薄 膜 光 学——典型膜系 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 1.1 单层增透膜