● 0.81I 图(c)两个Airy斑 图(d)两个Airy斑 图(e)两个Airy斑 明显可分辨出。 刚好可分辨出。 分辨不出。 △r=R 21
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阴晟灯丝 阳假 聚光饶 样品 物镜 中同能 投影镜 荧光屏成 照相底片 图9-2透射电子显微镜光路原理图 22
22 图 9 -2 透射电子显微镜光路原理图
二、构造 照明系统 电子光学系统（镜筒）成像系统 观察记录系统 般-10托，由机械泵和扩散泵完成 真空系统 新型电镜采用离子泵来提高真空度，达10-⑧托 透射电子显微镜 电子枪加速电子用小电流高电压电源 供电控制系统 透镜激磁用大电流低压电源 EDS 附加仪器系统WDS EELS电子能量损失谱
23 二、构造 − − − EELS WDS EDS ， ， 附加仪器系统 透镜激磁用大电流低压电源 电子枪加速电子用小电流高电压电源 供电控制系统 新型电镜采用离子泵来提高真空度 达 托 一般 托 由机械泵和扩散泵完成 真空系统 观察记录系统 成像系统 照明系统 电子光学系统（镜筒） 透射电子显微镜 8 5 10 10 电子能量损失谱
1.电磁透镜 能使电子束聚焦的装置称为电子透镜 静电透镜 电子透镜 恒磁透镜 磁透镜 电磁透镜 24
24 1. 电磁透镜 能使电子束聚焦的装置称为电子透镜 静电透镜 电子透镜 恒磁透镜 磁透镜 电磁透镜
1、静电透镜 。当电子在电场中运动，由于电场 力的作用，电子会发生折射。我 们将两个同轴圆筒带上不同电荷 (处于不同电位)，两个圆筒之 间形成一系列孤形等电位面族， 散射的电子在圆筒内运动时受电 场力作用在等电位面处发生折射 并会聚于一点。这样就构成了一 个最简单的静电透镜。 静电透镜结构示意图 。透射电子显微镜中的电子枪就是 一个静电透镜。 25
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