接负高压一 -联明源 阳极 一光阑 聚光镜 样品 物镜 物镜光阑 选区光阑 中间镜 投影镜 荧光屏或照相底片 {a) (b) 16
16
第一节透射电子显微镜工作原理及构造 一、 工作原理 ■成像原理与光学显微镜类似 ■不同点： 光源：在于光学显微镜以可见光作照明束，透 射电子显微镜则以电子为照明束。 成像介质：在光学显微镜中将可见光聚焦成像 的是玻璃透镜，在电子显微镜中为磁透镜。 6 功能：透射电镜在具有高的像分辨本领的同时 兼有结构分析的功能。 17
17 第一节 透射电子显微镜工作原理及构造 一、工作原理 ◼ 成像原理与光学显微镜类似 ◼ 不同点： 光源：在于光学显微镜以可见光作照明束，透 射电子显微镜则以电子为照明束。 成像介质：在光学显微镜中将可见光聚焦成像 的是玻璃透镜，在电子显微镜中为磁透镜。 功能：透射电镜在具有高的像分辨本领的同时 兼有结构分析的功能
灯（光源） 电子源 以知 聚光镜 ☒ 电磁透镜 ☒ ☒ 试样 试样 偏转线圈0 0 物镜 ☒ ☒物镜 扫描 二次电子检测器 试样 投影镜 ☒ 投影透镜 荧光屏 屏幕 象 CRT荧光屏阴极射线管 (透射形)光学显微镜透射电子显微镜(TEM) 扫描电子显微镜(SEM) 光学显微镜与电子显微镜比较 200nm 0.1nm 0.5nm
18
第一节电子波与电磁透镜 一、光学显微镜的分辨率 由衍射效应所限定的分辨率在理论上可由瑞利（Rayleigh) 公式计算，即 0.612 物镜 △ro Nsin a 试样 式中，△为成像物体（试样）上能分辨出来的两个物点间的最 小距离，表示分辨率的大小， △r越小，透镜分辨率越高； N为介质的相对折射系数；α为透镜的孔径半角。 19
19
0.61元 △ro含义 M 0.612 Ro= △r= Ro N sin a M Nsin a 5 物面 一物镜 像面 Aiy斑 (a) {b) 两个电光源成像时形成的Aiy斑 (a)Airy斑：(b)两个Airy斑靠近到刚好能分得开的临界距高时强度的叠加 20
20