2x,y,li)doni=l20I(x,y,li)cos2kliani=l2I(xy,li)sin2klihn(2-5)从而求得被测波面，由下式给出：24I(xy,li)n2i11-- b,-Inw(x,y):tgg(x,i)cos ki2k2ka,ni=l(2-6)元li =i=0,1,2,3..2n式中为进一步降低噪声，提高测量精度，可用P个周期进行驱动扫描，测量数据作累加平均，即n-FI(x, y,li)sin 2kli1i=lw(x,y) =2hg(,y,m)co hn=l(2-7)式（16-7）说明孔径内任意一点的位相可由该点上的nXp个光强的采样值计算出来，因此，可获得整个孔径上的位相。除实现自动检测外，还可以测定被测件的三维形貌。高精度光学平面零件的面形精度可用下列二个评价指标，如图2-2所示。1.PV值一一是表面形貌的最大峰谷值；2.RMS值一一是表面形貌的均方根值，RMS的定义是：ZvRMS = ±表而形貌VN-1RMpy式中,=x-Xi单次测值，ZxT=图2-2面形精度的评价N，N重复测定次数。实验步骤如下：1.摆放实验光路，如图2-3所示。6
6 0 1 1 1 1 1 2 (, , ) 2 ( , , )cos 2 2 ( , , )sin 2 n i n i n i a I x y li n a I x y li kli n b I x y li kli n = = = = = = ∑ ∑ ∑ （2-5） 从而求得被测波面，由下式给出： 1 1 1 1 1 1 2 ( , , )sin 2 1 1 (, ) 2 2 2 ( , , )cos 2 n i n i I x y li kli b n w x y tg tg kak I x y li kli n − − = = = = ∑ ∑ （2-6） 式中 2 li i n λ = ⋅ ，i = 0,1,2,3. 为进一步降低噪声，提高测量精度，可用 P 个周期进行驱动扫描，测量数据作累加平均， 即 1 1 1 ( , , )sin 2 1 (, ) 2 2 ( , , )cos 2 n p i n p i I x y li kli w x y tg k I x y li kli n ⋅ − = ⋅ = = ∑ ∑ （2-7） 式（16-7）说明孔径内任意一点的位相可由该点上的 n×p 个光强的采样值计算出来，因此， 可获得整个孔径上的位相。除实现自动检测外，还可以测定被测件的三维形貌。 高精度光学平面零件的面形精度可用下列二个评价指标，如图 2-2 所示。 1． PV 值——是表面形貌的最大峰谷值； 2． RMS 值——是表面形貌的均方根值，RMS 的定义是： 2 1 v RMS N = ± − ∑ 式中， i vxT = − ， i x 单次测值， i x T N = ∑ ，N 重复测定次数。 实验步骤如下： 1.摆放实验光路，如图 2-3 所示。 图 2-2 面形精度的评价
M（参考镜）BSLHe-Ne激光器M（测量镜）AWAL扩束准直系统干涉条纹TD本2图2-3T一G干涉系统2.调节工作台上的测微螺杆并启动压电晶体工作电源，使反射镜产生轴向位移，在计算机上看到条纹平移。3.将工作台上的平面反射镜换成曲面或台阶面（其干涉条纹的形状与反射面面形有对应定量关系）。4.调整CCD在轨道上的位置，使干涉条纹清晰。5.调节可调光阑孔径位置，滤除寄生干涉光。6.测量程序操作参见软件操作说明书。序号PV等高图（凹或凸）RMSEM12.五．实验报告1.记录数据并进行数据处理。实验3巴俾特原理及细丝直径测量一。实验目的1.了解巴俾特（Babinet）原理；2.利用互补测定法测量细丝直径。二，实验仪器设备CSYGLJT1激光多功能光电测量综合试验仪。7
7 2.调节工作台上的测微螺杆并启动压电晶体工作电源，使反射镜产生轴向位移，在计算 机上看到条纹平移。 3. 将工作台上的平面反射镜换成曲面或台阶面（其干涉条纹的形状与反射面面形有对 应定量关系）。 4.调整 CCD 在轨道上的位置，使干涉条纹清晰。 5.调节可调光阑孔径位置，滤除寄生干涉光。 6.测量程序操作参见软件操作说明书。 五. 实验报告 1．记录数据并进行数据处理。 实验 3 巴俾特原理及细丝直径测量 一．实验目的 1. 了解巴俾特（Babinet）原理； 2. 利用互补测定法测量细丝直径。 二. 实验仪器设备 CSYGLJT1 激光多功能光电测量综合试验仪。 图 2-3 T－G 干涉系统