透射电镜的条件与特征 1.电子运动的轨迹满足旁轴条件 ·2电子运动的速度是完全相同的 3.形成透镜的电磁场具有理想的轴对称性 4电镜的镜筒内部处于高真空。 5样品尺寸小,并对电子束是透明的。 ·6样品制备技术与图像解释方法发展
透射电镜的条件与特征 • 1.电子运动的轨迹满足旁轴条件。 • 2.电子运动的速度是完全相同的。 • 3.形成透镜的电磁场具有理想的轴对称性 • 4.电镜的镜筒内部处于高真空。 • 5.样品尺寸小,并对电子束是透明的。 • 6.样品制备技术与图像解释方法发展
扫描电镜(SEM) 1成像原理与与透射电镜完全不同。 ·2高能电子轰击样品表面。激发各种信息。 3.二次电子、透射电子、俄歇电子、Ⅹ射 线等。 4.不同的信息检测器。 5高真空状态。 6分辩率逊色于透射电镜数十倍
扫描电镜(SEM) • 1.成像原理与与透射电镜完全不同。 • 2.高能电子轰击样品表面。激发各种信息。 • 3.二次电子、透射电子、俄歇电子、X射 线等。 • 4.不同的信息检测器。 • 5.高真空状态。 • 6.分辩率逊色于透射电镜数十倍
扫描隧道显微镜 基本原理 量子理论中的隧道效应 极细探针与研究物质作为两个探极 隧道电流: 不可穿透 经典力学 loovb exp( -Ao2 量了力学 隆道效应 盛 2, 图2-1经典理论和量子理论的差别
扫描隧道显微镜 基本原理 • 量子理论中的隧道效应。 • 极细探针与研究物质作为两个探极。 • 隧道电流: 2 ) 1 IVb exp(−A s
扫描隧道显微镜的原理结构 极细探针与研究物质作为两个探极 针尖坚动机构 电子学系统 支 架 样品 计算机 减震系统 图3sTM的基本构成
扫描隧道显微镜的原理结构 • 极细探针与研究物质作为两个探极