实验三薄膜厚度的测量
实验三 薄膜厚度的测量
[实验目的]1.了解台阶仪的结构和工作原理2.利用台阶仪测量薄膜的厚度。[实验仪器]Xp-1型台阶仪
[实验目的] 1.了解台阶仪的结构和工作原理。 2.利用台阶仪测量薄膜的厚度。 [实验仪器] Xp-1型台阶仪
[实验原理]1.台阶仪工作原理光电池（PSPD）二极管激光发光器激光束探针磁力耦合线圈无摩擦蓝宝石轴承台阶仪测量的核心部分，称为激光反射悬臂梁
[实验原理] 1.台阶仪工作原理 台阶仪测量的核心部分，称为激光反射悬臂梁
工作原理：首先由激光源即一极管激光发光器发出激光，激光束通过和宝石轴承连体的镜面反射到一块两象限光电池上。这就组成了所谓的激光反射悬臂梁。其中光电池的作用是将反射的光信号转化为电信号，当然也可以将变化的光信号转变为电信号。测量原理：当探针在样品上进行接触式扫描时，由于样品表面的高低起伏从而使得探针随着样品表面也做高低起伏。由于探针的高低起伏就带动了蓝宝石轴承的倾斜度发生变化，从而使镜面倾斜度随着时刻发生变化，致使激光反射到光电池上的光斑位置时刻发生变化，变化的光斑位置产生变化的电信信号，通过对电信号的转换就会得到样品表面的高低形貌
工作原理： 首先由激光源即二极管激光发光器发出激光，激光束通过和 宝石轴承连体的镜面反射到一块两象限光电池上。这就组成了 所谓的激光反射悬臂梁。其中光电池的作用是将反射的光信号 转化为电信号，当然也可以将变化的光信号转变为电信号。 测量原理： 当探针在样品上进行接触式扫描时，由于样品表面的高低起伏 从而使得探针随着样品表面也做高低起伏。由于探针的高低起 伏就带动了蓝宝石轴承的倾斜度发生变化，从而使镜面倾斜度 随着时刻发生变化，致使激光反射到光电池上的光斑位置时刻 发生变化，变化的光斑位置产生变化的电信信号，通过对电信 号的转换就会得到样品表面的高低形貌
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2.软件功能介绍