中国矿业大学材料学院:《表面改性技术》课程电子教案(PPT教学课件)第六章 表面改性技术 6.5 离子注入技术

离子注入是将某一需要注入的化学元素的原子经电离后变成离子,并将其在电场中加速,获得较高的动能后注入到固体材料表面,以改变该材料表面的物理、化学或机械性能的一种技术。在离子注入过程中,具有一定动能的离子射入固体后,就与固体表层内的原子核和电子发生随机碰撞。
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