0.811图(c)两个Airy斑图(d)两个Airy斑图(e)两个Airy斑明显可分辨出刚好可分辨出。分辨不出。△r = Ro21
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阴慢灯丝1阳板I聚光锁样品物镜中间镜投影镜荧光屏成照相底片图9-2透射电子显微镜光路原理图22
22 图9-2 透射电子显微镜光路原理图
二、构造照明系统厦电子光学系统(镜筒)成像系统二观察记录系统国厦一般10"托,由机械泵和扩散泵完成真空系统新型电镜采用离子泵来提高真空度,达10托透射电子显微镜电子枪加速电子用小电流高电压电源供电控制系统透镜激磁用大电流低压电源口口EDS附加仪器系统WDSEELS电子能量损失谱
23 二、构造 电子能量损失谱
1.电磁透镜能使电子束聚焦的装置称为电子透镜静电透镜电子透镜恒磁透镜磁透镜电磁透镜24
24 1. 电磁透镜 能使电子束聚焦的装置称为电子透镜 静电透镜 电子透镜恒磁透镜 磁透镜 电磁透镜
1、静电透镜心当电子在电场中运动,由于电场力的作用,电子会发生折射。我(+)0们将两个同轴圆筒带上不同电荷(处于不同电位)?两个圆筒之间形成一系列弧形等电位面族,散射的电子在圆筒内运动时受电场力作用在等电位面处发生折射并会聚于一点。这样就构成了一个最简单的静电透镜静电透镜结构示意图透射电子显微镜中的电子枪就是一个静电透镜。25
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