照明源接负高压阳极光澜聚光镜样品一物镜物镜光澜选区光阀中间镜投影镜4光屏威膳相底(a)(b)16
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第二节透射电子显微镜工作原理及构造一、工作原理n成像原理与光学显微镜类似不同点：n光源：在于光学显微镜以可见光作照明束，透射$电子显微镜则以电子为照明束。成像介质：在光学显微镜中将可见光聚焦成像的$是玻璃透镜，在电子显微镜中为磁透镜。功能：透射电镜在具有高的像分辨本领的同时兼F有结构分析的功能17
17 第二节 透射电子显微镜工作原理及构 造 一、工作原理 n 成像原理与光学显微镜类似 n 不同点： $ 光源：在于光学显微镜以可见光作照明束，透射 电子显微镜则以电子为照明束。 $ 成像介质：在光学显微镜中将可见光聚焦成像的 是玻璃透镜，在电子显微镜中为磁透镜。 $ 功能：透射电镜在具有高的像分辨本领的同时兼 有结构分析的功能
X灯（光源）电子源LXJ区区聚光镜区区电磁透镜试样试样00000偏转线圈区区物镜物镜扫描三次电子检测器试样冈区投影镜投影透镜00荧光屏屏幕象象象CRT荧光屏阴极射线管（透射形）光学显微镜透射电子显微镜（TEM)扫描电子显微镜（SEM）光学显微镜与电子显微镜比较200nm0.1nm0:5nm
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第一节电子波与电磁透镜一、光学显微镜的分辨率由衍射效应所限定的分辨率在理论上可由瑞利（Rayleigh）公式计算，即0.612物镜△ro =aNsinα试样式中，公.为成像物体（试样）上能分辩出来的两个物点间的最小距离，表示分辨率的大小，I越小，透镜分辨率越高N为介质的相对折射系数：α为透镜的孔径半角19
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0.612Ro0.612△r。含义MRoAroMNsinαNsinα物面物镜像面Airy斑(b)(a)两个电光源成像时形成的Airy斑(a)Airy斑：（b）两个Airy斑靠近到刚好能分得开的临界距高离时强度的叠加20
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