2.分辨率主要影响因素有：①扫描电子束斑直径：②入射电子束在样品中的扩展效应；：③操作方式及其所用的调制信号；④信号噪音比；：③杂散磁场；③机械振动将引起束斑漂流等，使分辨率下降。二次电子背散射电子 吸收电子 特征X射线 俄歇电子信号分辨率5 ~ 1050 ~ 200100~1000100 ~ 1000 5 ~10(nm)21
21 2. 分辨率 信 号 二次电子 背散射电子 吸收电子 特征X射线 俄歇电子 分辨率 5～10 50～200 100～1000 100～1000 5～10 （nm） 主要影响因素有：①扫描电子束斑直径 ；②入射电子 束在样品中的扩展效应； ③操作方式及其所用的调制 信号；④信号噪音比；⑤杂散磁场；⑥机械振动将引 起束斑漂流等，使分辨率下降
①扫描电子束斑直径入射电子束束斑直径是扫描电镜分瓣本领的福极限。如束斑为10nm，那么分辨本领最高也是10nm。一般配备热阴极电子枪的扫描电镜的最小束?斑直径可缩小到6nm，相应的仪器最高分辨本领也就在6nm左右。利用场发射电子枪可使束斑直径小于3nm，相福应的仪器最高分辨本领也就可达3nm。22
22 ①扫描电子束斑直径 o 入射电子束束斑直径是扫描电镜分辨本领的 极限。如束斑为10nm，那么分辨本领最高也 是10nm。 o 一般配备热阴极电子枪的扫描电镜的最小束 斑直径可缩小到6nm，相应的仪器最高分辨本 领也就在6nm左右。 o 利用场发射电子枪可使束斑直径小于3nm，相 应的仪器最高分辨本领也就可达3nm
②入射电子束在样品中的扩展效应电子束能量与撞击深度对于轻元素样品一一O“梨形作用体积”，重元素样品1kV2kV3kV半球形作用体积”10改变电子能量只引2030起作用体积大小的40变化，而不会显著50地改变形状。(nm)23
②入射电子束在样品中的扩展效应 o 对于轻元素样品- “梨形作用体积” ，重元素样品-“ 半球形作用体积” o 改变电子能量只引 起作用体积大小的 变化，而不会显著 地改变形状。 23
入射电子束5~10nm俄歌电子0.5~2nmE二次电子以二次电子酒欧背散射电子像的分辨率作为衡量扫特征X射线连续X射线-描电子显微镜分辨率的背散射电子主要指标。空间分辨率X射线空间分辨率图13-6滴状作用体积24
24 o 以二次电子 像的分辨率 作为衡量扫 描电子显微 镜分辨率的 主要指标
可以产生信号的区域福都电子束称为有效作用区，有效作用区的最深处称俄歌电子二次电子为有效作用深度背散射电子高俄歇电子0.4-2nmZ>3特征X射线分辨率二次电子5-10nm连续×射线背散射电子100nm-1um图3-4电子束与固体物质的作用体积X射线光子500nm-5um低能谱：Z≥11；波 缮：Z=5， extremely smooth and flat surface
o 可以产生信号的区域 称为有效作用区，有 效作用区的最深处称 为有效作用深度。 25 Z≥3 能谱：Z≥11；波谱：Z=5，extremely smooth and flat surface