概述 986 1.4质量敏感型气体传感器的发展与现状 时间 作者 发展 19世纪末 Rayleigh 发现在固体表面传播的声波，即表面声波 1965年 White等 发明能在压电晶体表面上激励表面波的金属叉指换能器(DT) 1979年 Wohltjen等 实现了第一只延迟线型SAW传感器，并用于探测化学蒸汽 1986年 Kowalski等 首次研究聚合物作为敏感膜的QCM气体传感器阵列 1986年 Grate等 首次运用模式识别结合SAW传感器阵列实现蒸汽的识别 电子科技大学敏感材料与传廊器课程组 制作
电子科技大学 敏感材料与传感器 课程组 制作 1.4 质量敏感型气体传感器的发展与现状 时间 作者 发展 19世纪末 Rayleigh 发现在固体表面传播的声波,即表面声波 1965年 White等 发明能在压电晶体表面上激励表面波的金属叉指换能器（IDT） 1979年 Wohltjen等 实现了第一只延迟线型SAW传感器，并用于探测化学蒸汽 1986年 Kowalski等 首次研究聚合物作为敏感膜的QCM气体传感器阵列 1986年 … Grate等 首次运用模式识别结合SAW传感器阵列实现蒸汽的识别 一、概述
概述 好 986 1.4质量敏感型气体传感器的发展与现状 国外： 国内： 德国HKR Sensorsystem、RST Rostoch; 。电子科技大学 ÷法国Alpha MOS; 浙江大学 瑞士Applied Sensor; 中船重工声学所 英国Marconi Applied Technologies 北京防化研究院 美国的海军实验室(NRL) 北京防化指挥工程学院… SAW成气体传的器 The AFL SAseresr 电子科技大学敏席材料与传核器课程组 制作
电子科技大学 敏感材料与传感器 课程组 制作 国内： ❖ 电子科技大学 ❖ 浙江大学 ❖ 中船重工声学所 ❖ 北京防化研究院 ❖ 北京防化指挥工程学院… 国外： ❖ 德国HKR Sensorsystem、RST Rostoch; ❖ 法国Alpha MOS; ❖ 瑞士Applied Sensor; ❖ 英国Marconi Applied Technologies ❖ 美国的海军实验室（NRL） … 1.4 质量敏感型气体传感器的发展与现状 一、概述