特征X射线 样晶中原子受入射电子激发后,在能级跃迁过 程中直接释放的具有特征能量和波长的一种电 磁波辐射,其发射深度为05-5m范围 202i22
2021/2/22 HNU-ZLP 11 六、特征X射线 ❖ 样品中原子受入射电子激发后，在能级跃迁过 程中直接释放的具有特征能量和波长的一种电 磁波辐射，其发射深度为0.5~5m范围
七、阴极荧光 入射电子束轰击发光材料表面时,从样品中激 发出来的可见光或红外光 202i22
2021/2/22 HNU-ZLP 12 七、阴极荧光 ❖ 入射电子束轰击发光材料表面时，从样品中激 发出来的可见光或红外光
感应电动势 入射电子束照射半导体器件的PN结时,将产生 由于电子束照射而引起的电动势 202i22
2021/2/22 HNU-ZLP 13 八、感应电动势 ❖ 入射电子束照射半导体器件的PN结时，将产生 由于电子束照射而引起的电动势
上述信息,可以采用不同的检测仪器,将其转 变为放大的电信号,并在显象管荧光屏上或X 记录仪上显示出来,这就是扫描电镜的功 202i22
2021/2/22 HNU-ZLP 14 ❖ 上述信息，可以采用不同的检测仪器，将其转 变为放大的电信号，并在显象管荧光屏上或X －Y记录仪上显示出来，这就是扫描电镜的功 能
扫指电镜结构原理 结构组成 ☆扫描电镜与透射电镜 的主要区别 成象原理 202i22
2021/2/22 HNU-ZLP 15 第二节 扫描电镜结构原理 ❖ 结构组成 ❖ 扫描电镜与透射电镜 的主要区别 ❖ 成象原理