背散射电子 是指被固体样品原子反弹回来的一部分入射电 它来自样品表层01~1m深度范围,其能 量近似于入射电子能量,背散射电子产额随原 子序数的增加而增加,如图。利用背散射电子 作为成象信号不仅能分析形貌特征,也可用来 显示原子序数衬度,定性地进行成份分析。 202i22
2021/2/22 HNU-ZLP 6 二、背散射电子 ❖ 是指被固体样品原子反弹回来的一部分入射电 子，它来自样品表层0.1~1m深度范围，其能 量近似于入射电子能量，背散射电子产额随原 子序数的增加而增加，如图。利用背散射电子 作为成象信号不仅能分析形貌特征，也可用来 显示原子序数衬度，定性地进行成份分析
0.6 背散射电子 04 0.2 次电子 40 图2-17背散射电子和二次电子产额随 原子序数的变化 加速电压为30kv) 202122
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透射电子 6当样品足够薄时(01m2透过样品的入射电 子即为透射电子,其能量近似于入射电子的能 量 202i22
2021/2/22 HNU-ZLP 8 三、透射电子 ❖ 当样品足够薄时(0.1m)，透过样品的入射电 子即为透射电子，其能量近似于入射电子的能 量
四、吸收电子 残存在样晶中的入射电子。若在样品和地之间 接入一个高灵敏度的电流表,就可以测得样品 对地的信号,这个信号是由吸收电子提供的 202i22
2021/2/22 HNU-ZLP 9 四、吸收电子 ❖ 残存在样品中的入射电子。若在样品和地之间 接入一个高灵敏度的电流表，就可以测得样品 对地的信号，这个信号是由吸收电子提供的
五、俄歇电子 令从距样品表面几个A深度范围内发射的并具有 特征能量的二次电子,能量在50~1500e∨之间。 俄歇电子信号适用于表面化学成份分析 202i22
2021/2/22 HNU-ZLP 10 五、俄歇电子 ❖ 从距样品表面几个Å深度范围内发射的并具有 特征能量的二次电子，能量在50～1500eV之间。 俄歇电子信号适用于表面化学成份分析