第七章电子光学基础 波与电磁透镜 镜的像差和分辨本领 的景深和焦长 印N 2021/2/22
2021/2/22 1 第七章 电子光学基础 ◼引言 ◼电子波与电磁透镜 ◼电磁透镜的像差和分辨本领 ◼电磁透镜的景深和焦长
引言电镜的发展历史 1924年,德布罗意计算出电子波的波长 1926年,布施发现轴对称非均匀磁场能使电子 波聚焦 1932~1933年间,德国的劳尔和鲁斯卡等研 制成功世界上第一台电子显微镜 1939年,德国的西门子公司生产出分辨本领优 于10nm的商品电子显微镜 2021/2/22 HiN7-ZLI
2021/2/22 HNU－ZLP 2 引言 电镜的发展历史 ◼ 1924年，德布罗意计算出电子波的波长 ◼ 1926年，布施发现轴对称非均匀磁场能使电子 波聚焦 ◼ 1932～1933年间，德国的劳尔和鲁斯卡等研 制成功世界上第一台电子显微镜 ◼ 1939年，德国的西门子公司生产出分辨本领优 于10nm的商品电子显微镜
7.1电子波与电磁透镜 光学显微镜的局限性 电子波的波长 电磁透镜 2021/2/22 HiN7-ZLI
2021/2/22 HNU－ZLP 3 7.1 电子波与电磁透镜 ◼ 光学显微镜的局限性 ◼ 电子波的波长 ◼ 电磁透镜
光学显微镜的局限性 一个世纪以来,人们一直用光学显微镜来 揭示金属材料的显微组织,借以弄清楚组 织、成分、性能的内在联系。但光学显微 镜的分辨本领有限,对诸如合金中的G.P 区(几十埃)无能为力。 2021/2/22 HiN7-ZLI
2021/2/22 HNU－ZLP 4 光学显微镜的局限性 ◼ 一个世纪以来，人们一直用光学显微镜来 揭示金属材料的显微组织，借以弄清楚组 织、成分、性能的内在联系。但光学显微 镜的分辨本领有限，对诸如合金中的G.P 区（几十埃）无能为力
最小分辨距离计算公式 d=0.61 n.sin o 其中 最小分辨距离 波长 n—透镜周围的折射率 C 透镜对物点张角的一半, n.sina称为数值孔径,用N.A表示 2021/2/22 HiN7-ZLI 5
2021/2/22 HNU－ZLP 5 ◼ 最小分辨距离计算公式 其中 ——最小分辨距离 ——波长 ——透镜周围的折射率 ——透镜对物点张角的一半， 称为数值孔径，用 N.A 表示