第十三章电子探针显微分析 电子探针的原理 电子探针仪的结构 波谱仪(WDS 能谱仪(EDS) 电子探针仪分析方法 2021222
2021/2/22 HNU-ZLP 1 第十三章 电子探针显微分析 ◼ 电子探针的原理 ◼ 电子探针仪的结构 ◼ 波谱仪(WDS) ◼ 能谱仪(EDS) ◼ 电子探针仪分析方法
电子探针的原理 ■用细聚焦电子束入射样品表面,激发出 样品中各元素的特征(标识)X射线: 定性分析分析特征Ⅹ射线的波长(或特征能 量),得到元素的种类; 定量分析一分析特征X射线的强度,得到样 品中相应元素的含量 2021222 2
2021/2/22 HNU-ZLP 2 电子探针的原理 ◼ 用细聚焦电子束入射样品表面，激发出 样品中各元素的特征（标识） X射线： – 定性分析分析特征X射线的波长（或特征能 量），得到元素的种类； – 定量分析－分析特征X射线的强度，得到样 品中相应元素的含量
电子探针仪的结构 ■电子探针仪主要由电子光学系统、Ⅹ射线 谱仪、样品室、扫描显示系统、计算机 与自动控制系统、真空系统及一些必要 的附件组成 结构示意图。 ■电子探针仪常与扫描电镜组合在一起。 电子探针的信号检测系统是X射线谱仪 波长分散谱仪(WDS),简称波谱仪,用 来测定特征X射线波长; 2021222 3
2021/2/22 HNU-ZLP 3 电子探针仪的结构 ◼ 电子探针仪主要由电子光学系统、X射线 谱仪、样品室、扫描显示系统、计算机 与自动控制系统、真空系统及一些必要 的附件组成。 ◼ 结构示意图。 ◼ 电子探针仪常与扫描电镜组合在一起。 ◼ 电子探针的信号检测系统是X射线谱仪： – 波长分散谱仪（WDS），简称波谱仪，用 来测定特征X射线波长；
XY 记录仪荧光屏打印机 多道分析仪 凶 能量分散譜『(ED5),简称能谱仪,用来 测定X射线特 区 凶wDs 放 大 器 前 置 样品 放 大 器 图131电子探针仪的结构示意图 2021222
2021/2/22 HNU-ZLP 4 – 能量分散谱仪（EDS），简称能谱仪，用来 测定X射线特征能量
波谱仪(WDS) 组成:波谱仪主要由分光晶体和X射线检测系 统组成。 ■原理:根据布拉格定律,从试样中发出的特征 Ⅹ射线,经过一定晶面间距的晶体分光,波长 不同的特征X射线将有不同的衍射角。通过连 续地改变θ,就可以在与X射线入射方向呈20 的位置上测到不同波长的特征X射线信号。根 据莫塞莱定律 有的元素 4坷确定被测物质所含 ■为了提高接收Ⅹ射线强度,分光晶体通常使用 弯曲晶体。 2021222 5
2021/2/22 HNU-ZLP 5 波谱仪（WDS） ◼ 组成：波谱仪主要由分光晶体和X射线检测系 统组成。 ◼ 原理：根据布拉格定律，从试样中发出的特征 X射线，经过一定晶面间距的晶体分光，波长 不同的特征X射线将有不同的衍射角。通过连 续地改变，就可以在与X射线入射方向呈2 的位置上测到不同波长的特征X射线信号。根 据莫塞莱定律 可确定被测物质所含 有的元素 。 ◼ 为了提高接收X射线强度，分光晶体通常使用 弯曲晶体。 ( ) 1 = K Z −