线性系统的数学描述，系统描述中常用的基本概念，系统的外部描述传递函数，系统的内部描述状态空间表达式

控制理论发展概况 一、控制论:1948年美国数学家维纳《控制论》 二、1940—1950经典控制理论单机自动化 三、1960—1970现代控制理论机组自动化 四、1970—1980大系统理论控制管理综合 五、1980—1990智能控制理论智能自动化 六、1990—21c集成控制理论网络控制自动化

课程介绍的主要内容 1、微机电系统概论 2、微机电系统功能材料 3、微机械加工制造技术 4、微机械执行器 5、微机械传感器 6、微机械弱信号检测与处理 7、微机电系统设计技术 8、微封装、微构件及微尺寸效应

第一章概述 1.1机电一体化系统 机电一体化系统是指在系统主功能、信息处理功能和控 制功能等方面引进了电子技术,并把机械装置、执行部件、 计算机、检测与传感装置等电子设备以及软件等有机结合而 构成的系统,即机械、执行、检测与传感、信息处理、接口 和软件等部分在电子技术的支配下,以系统的观点进行结合而形成的一种新型机械系统。 具体实例:计算机外设、办公自动化设备、微细加工设 备、数控机床、数控加工中心、机器人、射压成型设备、武 器系统、航空航天、航海设备、家用电子机械、电动玩具等。目前这些系统的共性就是:绝大多数产品含有电子计算机或微处理器

一、绪论 、传感器的地位和作用 例1人与机器的机能对应关系定性 人通过感官感觉外界对象的刺激,通过大脑对感受的信息进行判断、处理,肢体作出相应的反映。 定量 传感器相当于人的感官,称\电五官\,外界信息由它提取,并转换为系统易于处理的电信号,微机对电信号进行处理,发出控制信号给执行器,执行器对外界对象进行控制

第四章电容式传感器 5.1工作原理与类型 5.2转换电路 5.3性能、特点及设计要点 5.4电容传感器应用 5.5电容式集成传感器

温度是表征物体冷热程度的物理量。它反映物体内部各分子运动平均动能的大小。 温度可以利用物体的某些物理性质(电阻 、电势、等)随着温度变化的特征进行测量。 测量方法按作用原理分接触式和非接触式 。接触式传感器接触温度场,二者进行热交换 。(热电偶、热电阻温度传感器)

第12章半导体传感器 12，1、气敏传感器 12.，2、湿敏传感器

振动在弹性介质内的传播称为波动,简称波。频 率在16~2×104Hz之间,能为人耳所闻的机械波,称 为声波;低于16Hz的机械波,称为次声波;频率高 于2×104Hz的机械波,称为超声波。 当超声波由一种介质入射到另一种介质时, 由于在两种介质中传播速度不同,在介质面上会产生反射、折射和波形转换等现象

第六章压电式传感器 压电式传感器的工作原理是基于某些介质材 料(石英晶体和压电陶瓷)的压电效应。是双向传感器。实现力与电荷的双向转换。 可测与力相关的物理量,如各种动态力、 机械冲击与振动。在声学、医学、力学、宇航等方面都得到了非常广泛的应用。 缺点是无静态输出,要求有很高的电输出阻抗。需用低电容的低噪声电缆