1)照明系统:赣明源接负高压电子枪和聚光镜阳极2)月成像系统:光光镜物镜、中间镜和投影镜物镜物镜光闸3)真空系统选区光闲中间镜4)记录系统:投影镜出荧光屏和感光胶片
1)照明系统: 电子枪和聚光镜 2)成像系统: 物镜、中间镜和 投影镜 3)真空系统 4)记录系统: 荧光屏和感光胶 片 S D U T
成像系统样品物镜I背焦平面主要为一系列磁透镜中间镜投影镜物镜成像系统磁透镜中间镜荧光屏b绗射8)成像投影镜电子成像和电子行射图
主要为一系列磁透镜 成像系统 物镜 中间镜 投影镜 磁 透 镜 成 像 系 统 S D U T
B:4铁壳磁透镜线圈有极靴2极靴短线圈无极靴vn透镜中心电子束源镜体轴线780002弄焦点elecfans lon 悦友电子轨迹Poo0e电磁线圈O铁壳透镜磁场
磁透镜 S D U T
磁透镜电子沿螺旋线轨迹运动可见光以折光学透镜0线形式穿过玻璃透镜
电子沿螺旋 线轨迹运动 可见光以折 线形式穿过 玻璃透镜 磁透镜光学透镜 S D U T
样品物镜背焦平面中间镜投影镜磁转角Φ:电磁透镜成像时有一附加的旋转角度。物与像的相荧光屏对位向对实像为180°土Φ
Z 磁转角ϕ:电磁透镜成像时有一 附加的旋转角度。物与像的相 对位向对实像S D U T 为180°±ϕ