2.仪器构造-75,000伏光源CM120五部分:聚光镜照明系统山样品物镜成像系统镜体记录系统视窗初级像平面真空系统初级荧光屏投影镜a视窗电器系统M1APHILIPS二级像平面接真空泵)照相干板(b)
五部分: 照明系统 成像系统 记录系统 真空系统 电器系统 2.仪器构造 S D U T
照明系统:1赣明源接负高压电子枪和聚光镜阳极2)成像系统:光光镜物镜、中间镜和投影镜物镜物镜光闸3)真空系统选区光闲中间镜4)记录系统:投影镜荧光屏和感光胶片
1)照明系统: 电子枪和聚光镜 2)成像系统: 物镜、中间镜和 投影镜 3)真空系统 4)记录系统: 荧光屏和感光胶 片 S D U T
照明系统亮度,相干性和稳定性电子枪:电子源+控制发散装置组成聚光镜
照明系统 电子枪:电子源+控制发散装置 聚光镜 组成 亮度,相干性和 稳定性 S D U T
电子枪:加速电压为50~300kV。高压线电子枪钨丝热电子源LaB6栅极电子源场发射源:强电场作用阳极板阴极灯丝电子枪三极热电子枪栅极阳极板
热电子源 场发射源:强电场作用 加速电压为50~300kV。 电子枪: 电子源 钨丝 LaB6 三极热电子枪 阴极灯丝 栅极 阳极板 电 子 枪 栅极 S D U T
聚光镜电子抢交叉点C第一聚光镜→双聚光镜C变更点照明系统光路图第二聚光镜→C及C.光栏会聚角样品
双聚光镜 照明系统 光路图 第一聚光镜 第二聚光镜 聚光镜 S D U T